Вакуум бүрэх технологи нь байгаль орчинд ээлтэй, өндөр үр ашигтай, маш сайн хальсны жигд байдал, дээд зэргийн бүрхүүлийн нягтрал зэрэг хэд хэдэн гол давуу талыг санал болгодог. Вакуум бүрэх төхөөрөмжийг ерөнхийдөө дараах төрлүүдэд ангилж болно.
1. Физик ууршилтын тунадасжуулалт (PVD) тоног төхөөрөмж
1.1 Вакуум ууршуулах бүрхүүлийн төхөөрөмж
Вакуум ууршуулах бүрхүүл нь голчлон дараахь зүйлийг агуулдаг: эсэргүүцлийн халаалтын ууршилт; электрон цацрагийн ууршилт, мөн E-цацрагийн ууршилт гэж нэрлэгддэг
1.2 Шүршигч бүрхүүлийн тоног төхөөрөмж
Шүршигч бүрхүүлийн тоног төхөөрөмж нь голчлон дараахь зүйлийг агуулдаг: DC шүршигч; RF шүршигч; Дунд давтамжийн шүршигч
1.3 Ион бүрэх төхөөрөмж
Ион бүрэх тоног төхөөрөмж нь голчлон катодын нуман ион бүрэхийг агуулдаг.
2. Химийн ууршилтын тунадасжуулалтын (ХУТТ) тоног төхөөрөмж
Химийн ууршуулах төхөөрөмжийг дараах төрлүүдэд ангилж болно.
2.1 Агаар мандлын даралттай химийн уурын тунадасжилт (APCVD)
2.2 Бага даралттай химийн уурын тунадасжилт (LPCVD)
2.3 Плазмын сайжруулсан химийн ууршилт (PECVD)
2.4 Металл Органик Химийн Уурын Тунадас (MOCVD)
2.5 Атомын давхаргын тунадасжилт (ALD)
Хэрэглээний салбарууд
Вакуум бүрэх төхөөрөмжийг хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, дрон, ухаалаг зүүдэг төхөөрөмж, оптик линз, автомашин, электроник, тавилга, гэр ахуйн цахилгаан хэрэгсэл, угаалгын өрөөний тоноглол, сав баглаа боодлын материал, хуванцар обудны эд анги зэрэг янз бүрийн салбарт өргөн ашигладаг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Жэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 4-р сарын 29