Vakuum örtük texnologiyası ətraf mühitə uyğunluq, yüksək səmərəlilik, əla təbəqə vahidliyi və üstün örtük sıxlığı da daxil olmaqla bir sıra əsas üstünlüklər təklif edir. Vakuum örtük avadanlıqları ümumiyyətlə aşağıdakı növlərə təsnif edilə bilər:
1. Fiziki Buxar Çökdürmə (PVD) Avadanlığı
1.1 Vakuum Buxarlanma Örtük Avadanlığı
Vakuum buxarlanma örtüyü əsasən aşağıdakıları əhatə edir: müqavimətli istilik buxarlanması; elektron şüa buxarlanması, həmçinin E-şüa buxarlanması kimi tanınır
1.2 Çiləmə Örtük Avadanlığı
Püskürtmə örtük avadanlığı əsasən aşağıdakıları əhatə edir: DC püskürtmə; RF püskürtmə; Orta tezlikli püskürtmə
1.3 İon Kaplama Avadanlığı
İon örtük avadanlığı əsasən aşağıdakıları əhatə edir: katod qövs ion örtüyü
2. Kimyəvi Buxar Çökdürmə (KÇÇ) Avadanlığı
Kimyəvi buxar çökmə avadanlıqları aşağıdakı növlərə təsnif edilə bilər:
2.1 Atmosfer Təzyiqi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (APCVD)
2.2 Aşağı Təzyiqli Kimyəvi Buxar Çökməsi (LPCVD)
2.3 Plazma ilə Gücləndirilmiş Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (PECVD)
2.4 Metal Üzvi Kimyəvi Buxar Çökməsi (MOCVD)
2.5 Atom Layının Çökməsi (ALD)
Tətbiq Sənayesi
Vakuum örtük avadanlıqları müxtəlif sahələrdə, o cümlədən yarımkeçiricilər, yeni enerji, dronlar, ağıllı geyilə bilən cihazlar, optik linzalar, avtomobil, elektronika, mebel və məişət texnikası, vanna otağı armaturları, qablaşdırma materialları və plastik bəzək komponentlərində geniş istifadə olunur.
-Bu məqalə dərc olunub vakuum örtük avadanlığı istehsalçısı Zhenhua Tozsoran
Yazı vaxtı: 29 aprel 2026