បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិសំខាន់ៗមួយចំនួន រួមទាំងភាពស្និទ្ធស្នាលនឹងបរិស្ថាន ប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងដង់ស៊ីតេថ្នាំកូតខ្ពស់។ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសជាទូទៅអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជាប្រភេទដូចខាងក្រោម៖
១. ឧបករណ៍បញ្ចេញចំហាយទឹករូបវន្ត (PVD)
១.១ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតហួតដោយសុញ្ញកាស
ថ្នាំកូតហួតក្នុងសុញ្ញកាសភាគច្រើនរួមមាន៖ ការហួតធន់នឹងកំដៅ; ការហួតធ្នឹមអេឡិចត្រុង ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាការហួតធ្នឹមអ៊ី
១.២ ឧបករណ៍ថ្នាំកូត Sputtering
ឧបករណ៍ថ្នាំកូតស្ព្រាតទ័រភាគច្រើនរួមមាន៖ ស្ព្រាតទ័រ DC; ស្ព្រាតទ័រ RF; ស្ព្រាតទ័រប្រេកង់មធ្យម
១.៣ ឧបករណ៍ស្រោបអ៊ីយ៉ុង
ឧបករណ៍ស្រោបអ៊ីយ៉ុងភាគច្រើនរួមមាន៖ ស្រោបអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូត
២. ឧបករណ៍បញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD)
ឧបករណ៍ដាក់ចំហាយគីមីអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ទៅជាប្រភេទដូចខាងក្រោម៖
២.១ ការដាក់ចំហាយគីមីក្នុងសម្ពាធបរិយាកាស (APCVD)
២.២ ការដាក់ចំហាយគីមីសម្ពាធទាប (LPCVD)
២.៣ ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពក្នុងប្លាស្មា (PECVD)
២.៤ ការដាក់ចំហាយគីមីសរីរាង្គលោហៈ (MOCVD)
២.៥ ការដាក់ស្រទាប់អាតូម (ALD)
ឧស្សាហកម្មកម្មវិធី
ឧបករណ៍ថ្នាំកូតសុញ្ញកាសត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗ រួមមាន៖ ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ថាមពលថ្មី យន្តហោះគ្មានមនុស្សបើក ឧបករណ៍ពាក់ឆ្លាតវៃ កញ្ចក់អុបទិក រថយន្ត គ្រឿងអេឡិចត្រូនិច គ្រឿងសង្ហារឹម និងឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ក្នុងផ្ទះ សម្ភារៈបន្ទប់ទឹក សម្ភារៈវេចខ្ចប់ និងគ្រឿងបន្លាស់តុបតែងផ្លាស្ទិច។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៩ ខែមេសា ឆ្នាំ ២០២៦