የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች ዋና ዋና ዓይነቶች ምንድናቸው?

የቫኩም ሽፋን ቴክኖሎጂ በርካታ ቁልፍ ጥቅሞችን ይሰጣል፤ ከእነዚህም ውስጥ የአካባቢ ወዳጃዊነት፣ ከፍተኛ ብቃት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የፊልም ወጥነት እና የላቀ የሽፋን ጥግግት ይገኙበታል። የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በአጠቃላይ በሚከተሉት ዓይነቶች ሊመደቡ ይችላሉ፡

1. የፊዚካል ትነት ማስቀመጫ (PVD) መሳሪያዎች

1.1 የቫኩም ትነት ሽፋን መሳሪያዎች

የቫኩም ትነት ሽፋን በዋናነት የሚከተሉትን ያካትታል፡ የመቋቋም ማሞቂያ ትነት፤ የኤሌክትሮን ጨረር ትነት፣ እንዲሁም ኢ-ቢም ትነት በመባልም ይታወቃል

1.2 የስፑተርንግ ሽፋን መሳሪያዎች

የስፑተር ሽፋን መሳሪያዎች በዋናነት የሚከተሉትን ያካትታሉ፡ የዲሲ ስፑተርንግ፤ የRF ስፑተርንግ፤ መካከለኛ ድግግሞሽ ስፑተርንግ

1.3 የአዮን ፕላቲንግ መሳሪያዎች

የአዮን ፕላቲንግ መሳሪያዎች በዋናነት የሚከተሉትን ያካትታሉ፡- ካቶዲክ አርክ አዮን ፕላቲንግ

2. የኬሚካል ትነት ማስወገጃ (CVD) መሳሪያዎች

የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ መሳሪያዎች በሚከተሉት ዓይነቶች ሊከፈሉ ይችላሉ:

2.1 የከባቢ አየር ግፊት ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (APCVD)
2.2 ዝቅተኛ ግፊት ያለው የኬሚካል ትነት ክምችት (LPCVD)
2.3 የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (PECVD)
2.4 የብረታ ብረት ኦርጋኒክ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (MOCVD)
2.5 የአቶሚክ ንብርብር ዲፖዚሽን (ALD)
የማመልከቻ ኢንዱስትሪዎች

የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ከእነዚህም ውስጥ ሴሚኮንዳክተሮች፣ አዲስ ኃይል፣ ድሮኖች፣ ስማርት ተለባሽዎች፣ የኦፕቲካል ሌንሶች፣ አውቶሞቲቭ፣ ኤሌክትሮኒክስ፣ የቤት እቃዎች እና የቤት እቃዎች፣ የመታጠቢያ ቤት እቃዎች፣ የማሸጊያ ቁሳቁሶች እና የፕላስቲክ ጌጥ ክፍሎች ይገኙበታል።

-ይህ ጽሑፍ የታተመው በ የቫክዩም ሽፋን መሣሪያዎች አምራች ዜንሁዋ ቫክዩም