Вакуум каплау технологиясе берничә төп өстенлек бирә, шул исәптән әйләнә-тирә мохиткә зыянсызлык, югары нәтиҗәлелек, пленканың бер төрлелеге һәм югары тыгызлык. Вакуум каплау җиһазларын, гадәттә, түбәндәге төрләргә бүлеп була:
1. Физик пар чыгару (PVD) җиһазлары
1.1 Вакуум парга әйләндерү каплау җиһазлары
Вакуум парга әйләндерү каплавы, нигездә, түбәндәгеләрне үз эченә ала: каршылыклы җылыту парга әйләндерү; электрон нурга әйләндерү, шулай ук E-нурга әйләндерү дип тә атала.
1.2 Сиптерү каплау җиһазлары
Сиптерү каплау җиһазлары, нигездә, түбәндәгеләрне үз эченә ала: даими ток сиптерү; радиоешлык сиптерү; урта ешлык сиптерү
1.3 Ион каплау җиһазлары
Ион каплау җиһазлары, нигездә, түбәндәгеләрне үз эченә ала: катод дугалы ион каплау
2. Химик пар чыгару (ХПТ) җиһазлары
Химик пар белән каплау җиһазларын түбәндәге төрләргә бүлеп була:
2.1 Атмосфера басымы белән химик пар утырту (APCVD)
2.2 Түбән басымлы химик пар утырту (LPCVD)
2.3 Плазмада көчәйтелгән химик пар утырту (PECVD)
2.4 Металл-органик химик пар утырту (MOCVD)
2.5 Атом катламы утырмасы (ALD)
Куллану тармаклары
Вакуум каплау җиһазлары төрле тармакларда киң кулланыла, шул исәптән: ярымүткәргечләр, яңа энергия, дроннар, акыллы киелә торган җайланмалар, оптик линзалар, автомобильләр, электроника, җиһазлар һәм көнкүреш техникасы, ванна бүлмәсе җиһазлары, төрү материаллары һәм пластик бизәк компонентлары.
-Бу мәкалә бастырып чыгарылган вакуум каплау җиһазлары җитештерүчесе Чжэньхуа чүп-чар
Бастырып чыгару вакыты: 2026 елның 29 апреле