Công nghệ phủ chân không mang lại một số ưu điểm chính, bao gồm thân thiện với môi trường, hiệu quả cao, độ đồng nhất màng phủ tuyệt vời và mật độ phủ vượt trội. Thiết bị phủ chân không nhìn chung có thể được phân loại thành các loại sau:
1. Thiết bị lắng đọng hơi vật lý (PVD)
1.1 Thiết bị phủ màng bằng phương pháp bay hơi chân không
Lớp phủ bay hơi chân không chủ yếu bao gồm: bay hơi bằng điện trở; bay hơi bằng chùm tia điện tử, còn được gọi là bay hơi E-beam.
1.2 Thiết bị phủ màng bằng phương pháp phún xạ
Thiết bị phủ màng bằng phương pháp phún xạ chủ yếu bao gồm: phún xạ DC; phún xạ RF; phún xạ tần số trung bình.
1.3 Thiết bị mạ ion
Thiết bị mạ ion chủ yếu bao gồm: mạ ion hồ quang catốt
2. Thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD)
Thiết bị lắng đọng hơi hóa học có thể được phân loại thành các loại sau:
2.1 Phương pháp lắng đọng hơi hóa học ở áp suất khí quyển (APCVD)
2.2 Phương pháp lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp (LPCVD)
2.3 Phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD)
2.4 Phương pháp lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD)
2.5 Phương pháp lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)
Các ngành ứng dụng
Thiết bị phủ chân không được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp khác nhau, bao gồm: Bán dẫn, năng lượng mới, máy bay không người lái, thiết bị đeo thông minh, thấu kính quang học, ô tô, điện tử, đồ nội thất và thiết bị gia dụng, phụ kiện phòng tắm, vật liệu đóng gói và linh kiện nhựa.
-Bài viết này được xuất bản bởi nhà sản xuất thiết bị phủ chân không Máy hút bụi Zhenhua
Thời gian đăng bài: 29/04/2026