Вакуумдук каптоо технологиясы бир нече негизги артыкчылыктарды сунуштайт, анын ичинде экологиялык жактан таза, жогорку натыйжалуулук, пленканын бирдейлиги жана каптоонун жогорку тыгыздыгы. Вакуумдук каптоо жабдууларын жалпысынан төмөнкү түрлөргө бөлүүгө болот:
1. Физикалык буу чөктүрүү (PVD) жабдуулары
1.1 Вакуумдук буулантуу менен каптоо жабдуусу
Вакуумдук буулануу каптоосу негизинен төмөнкүлөрдү камтыйт: каршылык менен жылытуу буулануу; электрондук нурдун буулануусу, ошондой эле электрондук нурдун буулануусу деп аталат
1.2 Чачыратуучу каптоо жабдуулары
Чачыратуучу каптоо жабдуулары негизинен төмөнкүлөрдү камтыйт: DC чачыратуусу; RF чачыратуусу; Орто жыштыктагы чачыратуусу
1.3 Иондук каптоо жабдуулары
Иондук каптоо жабдуулары негизинен төмөнкүлөрдү камтыйт: катоддук жаа иондук каптоо
2. Химиялык буу чөктүрүү (ХБЧ) жабдуулары
Химиялык буу топтоо жабдууларын төмөнкү түрлөргө бөлүүгө болот:
2.1 Атмосфералык басымдагы химиялык буу чөкмөсү (APCVD)
2.2 Төмөнкү басымдагы химиялык буу чөкмөсү (LPCVD)
2.3 Плазмадагы күчөтүлгөн химиялык буу чөктүрүү (PECVD)
2.4 Металл-органикалык химиялык буу чөкмөсү (MOCVD)
2.5 Атомдук катмардын чөкмөсү (ALD)
Колдонмо тармактары
Вакуумдук каптоо жабдуулары ар кандай тармактарда кеңири колдонулат, анын ичинде: жарым өткөргүчтөр, жаңы энергия, дрондор, акылдуу кийилүүчү түзмөктөр, оптикалык линзалар, автомобиль, электроника, эмерек жана тиричилик техникалары, ванна бөлмөсүнүн жабдуулары, таңгактоочу материалдар жана пластикалык жасалгалоо компоненттери.
- Бул макаланы жарыялаган вакуумдук каптоо жабдууларын өндүрүүчү Чжэньхуа чаң соргуч
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 29-апрели