Vakuuminio dengimo technologija siūlo keletą pagrindinių privalumų, įskaitant ekologiškumą, didelį efektyvumą, puikų plėvelės vienodumą ir didesnį dengimo tankį. Vakuuminio dengimo įrangą paprastai galima suskirstyti į šiuos tipus:
1. Fizikinio garinimo nusodinimo (PVD) įranga
1.1 Vakuuminio garinimo dengimo įranga
Vakuuminio garinimo danga daugiausia apima: varžinį kaitinimo garinimą; elektronų pluošto garinimą, dar vadinamą E pluošto garinimu
1.2 Purškimo dengimo įranga
Purškimo įranga daugiausia apima: nuolatinės srovės purškimą; radijo dažnio purškimą; vidutinio dažnio purškimą
1.3 Jonų dengimo įranga
Jonų dengimo įranga daugiausia apima: katodinį lanko jonų dengimą
2. Cheminio garinimo nusodinimo (CVD) įranga
Cheminio garinimo įrangą galima suskirstyti į šias rūšis:
2.1 Cheminis garų nusodinimas atmosferos slėgyje (APCVD)
2.2 Žemo slėgio cheminis garų nusodinimas (LPCVD)
2.3 Plazma sustiprintas cheminis garų nusodinimas (PECVD)
2.4 Metalo organinis cheminis garų nusodinimas (MOCVD)
2.5 Atominio sluoksnio nusodinimas (ALD)
Taikomųjų pramonės šakų
Vakuuminio dengimo įranga plačiai naudojama įvairiose pramonės šakose, įskaitant: puslaidininkius, naują energiją, dronus, išmaniuosius nešiojamus įrenginius, optinius lęšius, automobilių, elektronikos, baldų ir buitinės technikos, vonios kambario įrangos, pakavimo medžiagų ir plastikinių apdailos komponentų pramonę.
– Šį straipsnį paskelbė vakuuminio dengimo įrangos gamintojas Zhenhua dulkių siurblys
Įrašo laikas: 2026 m. balandžio 29 d.