อุปกรณ์เคลือบผิวด้วยระบบสุญญากาศมีกี่ประเภทหลัก?

เทคโนโลยีการเคลือบด้วยระบบสุญญากาศมีข้อดีหลายประการ ได้แก่ เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม ประสิทธิภาพสูง ความสม่ำเสมอของฟิล์มที่ดีเยี่ยม และความหนาแน่นของการเคลือบที่เหนือกว่า โดยทั่วไปแล้ว อุปกรณ์การเคลือบด้วยระบบสุญญากาศสามารถแบ่งออกเป็นประเภทต่างๆ ดังนี้:

1. อุปกรณ์การเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition: PVD)

1.1 อุปกรณ์เคลือบผิวด้วยการระเหยในสุญญากาศ

การเคลือบด้วยการระเหยในสุญญากาศส่วนใหญ่ประกอบด้วย: การระเหยด้วยความร้อนจากความต้านทาน และการระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอน หรือที่เรียกว่าการระเหยด้วยลำแสงอี (E-beam evaporation)

1.2 อุปกรณ์เคลือบผิวด้วยวิธีสปัตเตอร์ริ่ง

อุปกรณ์เคลือบผิวด้วยการสปัตเตอร์ส่วนใหญ่ประกอบด้วย: การสปัตเตอร์ด้วยกระแสตรง (DC sputtering); การสปัตเตอร์ด้วยคลื่นความถี่วิทยุ (RF sputtering); การสปัตเตอร์ด้วยความถี่ปานกลาง (Medium frequency sputtering)

1.3 อุปกรณ์ชุบไอออน

อุปกรณ์ชุบไอออนส่วนใหญ่ประกอบด้วย: การชุบไอออนด้วยอาร์คแคโทด

2. อุปกรณ์การตกตะกอนไอสารเคมี (CVD)

อุปกรณ์การตกตะกอนไอสารเคมีสามารถจำแนกได้เป็นประเภทต่างๆ ดังต่อไปนี้:

2.1 การตกตะกอนไอสารเคมีภายใต้ความดันบรรยากาศ (APCVD)
2.2 การตกตะกอนไอสารเคมีความดันต่ำ (LPCVD)
2.3 การตกตะกอนไอสารเคมีด้วยพลาสมา (PECVD)
2.4 การตกตะกอนไอสารเคมีอินทรีย์โลหะ (MOCVD)
2.5 การตกตะกอนแบบชั้นอะตอม (ALD)
อุตสาหกรรมประยุกต์

อุปกรณ์เคลือบสุญญากาศมีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ ได้แก่ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โดรน อุปกรณ์สวมใส่ไฮเทค เลนส์ออปติคอล ยานยนต์ อิเล็กทรอนิกส์ เฟอร์นิเจอร์และเครื่องใช้ในครัวเรือน อุปกรณ์ห้องน้ำ วัสดุบรรจุภัณฑ์ และชิ้นส่วนตกแต่งพลาสติก

-บทความนี้เผยแพร่โดย ผู้ผลิตอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศ เครื่องดูดฝุ่นเจิ้นฮวา