Որո՞նք են վակուումային ծածկույթի սարքավորումների հիմնական տեսակները:

Վակուումային ծածկույթի տեխնոլոգիան առաջարկում է մի քանի հիմնական առավելություններ, այդ թվում՝ շրջակա միջավայրի համար անվտանգություն, բարձր արդյունավետություն, գերազանց թաղանթի միատարրություն և ծածկույթի գերազանց խտություն: Վակուումային ծածկույթի սարքավորումները կարելի է ընդհանուր առմամբ դասակարգել հետևյալ տեսակների՝

1. Ֆիզիկական գոլորշու նստեցման (ՖԳԱ) սարքավորումներ

1.1 Վակուումային գոլորշիացման ծածկույթի սարքավորումներ

Վակուումային գոլորշիացման ծածկույթը հիմնականում ներառում է. դիմադրության տաքացման գոլորշիացում, էլեկտրոնային ճառագայթային գոլորշիացում, որը հայտնի է նաև որպես E-ճառագայթային գոլորշիացում

1.2 Ցողման ծածկույթի սարքավորումներ

Ցողման ծածկույթի սարքավորումները հիմնականում ներառում են՝ մշտական ​​հոսանքի ցողում, ռադիոհաճախականության ցողում, միջին հաճախականության ցողում

1.3 Իոնային ծածկույթով սարքավորումներ

Իոնային ծածկույթով սարքավորումները հիմնականում ներառում են՝ կաթոդային աղեղային իոնային ծածկույթ

2. Քիմիական գոլորշու նստեցման (ՔԳՆ) սարքավորումներ

Քիմիական գոլորշու նստեցման սարքավորումները կարելի է դասակարգել հետևյալ տեսակների.

2.1 Մթնոլորտային ճնշման քիմիական գոլորշու նստեցում (APCVD)
2.2 Ցածր ճնշման քիմիական գոլորշու նստեցում (LPCVD)
2.3 Պլազմայով ուժեղացված քիմիական գոլորշու նստեցում (PECVD)
2.4 Մետաղական օրգանական քիմիական գոլորշու նստեցում (MOCVD)
2.5 Ատոմային շերտային նստեցում (ԱՇՆ)
Կիրառական արդյունաբերություններ

Վակուումային ծածկույթների սարքավորումները լայնորեն կիրառվում են տարբեր ոլորտներում, այդ թվում՝ կիսահաղորդիչների, նոր էներգիայի, անօդաչու թռչող սարքերի, խելացի կրելի սարքերի, օպտիկական ոսպնյակների, ավտոմոբիլային, էլեկտրոնիկայի, կահույքի և կենցաղային տեխնիկայի, լոգարանի պարագաների, փաթեթավորման նյութերի և պլաստիկե զարդարանքների արդյունաբերության մեջ։

- Այս հոդվածը հրապարակվել է վակուումային ծածկույթների սարքավորումների արտադրող Չժենհուա Վակուում