1. Корисно за распрскување и обложување на изолациска фолија. Брзата промена на поларитетот на електродата може да се користи за директно распрскување на изолациски цели за да се добијат изолациски филмови. Ако се користи извор на еднонасочна струја за распрскување и таложење на изолациска фолија, изолациската фолија ќе ги блокира позитивните јони да влезат во катодата, формирајќи слој на акумулација на позитивни јони, кој е склонен кон дефект и палење. По таложењето на изолациска фолија на анодата, електроните се блокирани да влезат во анодата, што резултира со феноменот на исчезнување на анодата. Кога се користи RF извор на енергија за обложување на изолациската фолија, поради наизменичниот поларитет на електродите, позитивните полнежи акумулирани на катодата во првата половина од циклусот ќе бидат неутрализирани од електрони во втората половина од циклусот, а електроните акумулирани на анодата ќе бидат неутрализирани од позитивни јони. Спротивниот процес во втората половина од циклусот може да ја елиминира акумулацијата на полнежи на електродата, а процесот на празнење може да продолжи нормално.
2. Високофреквентните електроди генерираат самопристрасност. Во RF уредот со рамна електродна структура, високофреквентните електроди во колото што користат капацитивно спојување генерираат напон на самопристрасност. Огромната разлика помеѓу брзината на миграција на електроните и брзината на миграција на јоните при празнење им овозможува на електроните да постигнат поголема брзина на движење во дадено време, додека помалата брзина на јоните предизвикува акумулација. Високофреквентната електрода е со негативен потенцијал поголемиот дел од секој циклус, што резултира со негативен напон на теренот, што е феномен на самопристрасност на високофреквентната електрода.
Самопристрасноста генерирана од RF електродата за празнење го забрзува јонскиот бомбардирање на катодната електрода за континуирано емитување на секундарни електрони за одржување на процесот на празнење, а самопристрасноста игра слична улога како и падот на катодата при празнење на еднонасочна струја со сјај. Иако се користи RF напојување, празнењето може да биде стабилно поради напонот на самопристрасност генериран од високофреквентната електрода што достигнува 500-1000V.
3. Радиофреквентното празнење игра важна улога во празнењето на сјајот под атмосферски притисок и празнењето на сјајот со диелектрична бариера воведено подоцна.
Време на објавување: 21 јуни 2023 година