真空コーティング機のポンプシステムの要件

真空コーティング装置（ポンプシステム搭載型）には、以下の基本要件があります。

（１）コーティング真空システムは、十分な排気速度を有していなければならない。これは、コーティングプロセス中に基板や蒸着材料、真空チャンバー内の部品から放出されるガスを迅速に排気するだけでなく、スパッタリングおよびイオンコーティングプロセスから放出されるガス、ならびにスパッタリングおよびイオンコーティングプロセスおよびシステムのガス漏れも迅速に排気できるものでなければならない。

スパッタリングおよびイオンコーティング工程中のガス漏れも迅速に除去できる。コーティング装置の生産性を向上させるためには、迅速な動作が不可欠である。

（２）コーティング機のポンプシステムの最終真空度は、異なるフィルムの要求に応じて異なるべきである。表７－９は、異なるフィルムのコーティングプロセスで必要とされる真空度の範囲である。

（３）オイル拡散ポンプを主ポンプとして用いるポンプシステムでは、戻り油蒸気がワークピースの表面を汚染し、塗膜の品質を低下させるため、ポンプのオイル戻り率はできるだけ小さくする必要があります。塗膜の品質要求が特に高いコーティングプロセスでは、オイルフリーポンプシステムを使用するのが最適です。オイル拡散ポンプポンプシステムを使用する場合は、ポンプ入口に吸着トラップ、コールドトラップなどの部品を設置し、真空システムが最大排気速度を維持できるように部品の導電率に注意する必要があります。

（４）真空コーティングチャンバーおよびその排気システムの漏洩率は小さくなければなりません。つまり、微量のガス漏れであっても、膜の品質に影響します。したがって、システムのシール性能を確保するためには、システム全体の漏洩率を許容範囲内に制限する必要があります。

（５）真空システムの操作、使用、保守は、便利で安定しており、信頼性の高い性能であるべきである。

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