Nasos tizimidagi vakuumli qoplama mashinasi quyidagi asosiy talablarga ega:
(1) Qoplama vakuum tizimi yetarlicha yuqori nasos tezligiga ega bo'lishi kerak, bu nafaqat qoplama jarayonida substrat va bug'langan materiallardan ajralib chiqadigan gazlarni va vakuum kamerasidagi komponentlarni tezda chiqarib yuborishi, balki purkash va ion qoplama jarayonidan ajralib chiqadigan gazlarni, shuningdek, purkash va ion qoplama jarayoni va tizimning gaz oqishini ham tezda chiqarib yuborishi kerak.
Purkash va ion qoplama jarayonida gaz oqishini ham tezda chiqarib olish mumkin. Qoplama mashinasining unumdorligini oshirish uchun u tez ishlashi kerak.
(2) Qoplama mashinasi nasos tizimining maksimal vakuumi turli plyonkalarning talablariga muvofiq har xil bo'lishi kerak. 7-9-jadvalda turli plyonkalarni qoplash jarayoni tomonidan talab qilinadigan vakuum darajasi diapazoni ko'rsatilgan.
(3) Yog 'diffuziya pompasida asosiy nasos tizimi sifatida nasosning moyni qaytarish tezligi iloji boricha past bo'lishi kerak, chunki qaytib keladigan yog' bug'i ish qismining yuzasini ifloslantiradi va plyonka sifatining pasayishiga olib keladi. Qoplama jarayonida plyonka sifatiga talablar ayniqsa yuqori bo'lganligi sababli, moysiz nasos tizimidan foydalanish eng yaxshisidir. Yog 'diffuziya pompasi nasos tizimidan foydalanganda, nasos kirish qismida adsorbsiya tuzog'i, sovuq tuzoq va boshqa komponentlar o'rnatilishi va vakuum tizimining maksimal nasos tezligini saqlab turishini ta'minlash uchun komponentlarning o'tkazuvchanligiga e'tibor berish kerak.
(4) Vakuum qoplama kamerasi va uning nasos tizimining oqish tezligi kichik bo'lishi kerak, ya'ni agar u iz gazining oqishi bo'lsa ham, bu plyonka sifatiga ta'sir qiladi. Shuning uchun, tizimning muhrlanish samaradorligini ta'minlash uchun tizimning umumiy oqish tezligi ruxsat etilgan diapazon bilan cheklanishi kerak.
(5) Vakuum tizimining ishlashi, ishlatilishi va texnik xizmat ko'rsatilishi qulay, barqaror va ishonchli bo'lishi kerak.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 14-dekabr