Máy phủ chân không trên hệ thống bơm có các yêu cầu cơ bản sau:
(1) Hệ thống chân không phủ phải có tốc độ bơm đủ lớn, không chỉ có thể nhanh chóng bơm ra các khí thoát ra từ chất nền và vật liệu bay hơi cũng như các thành phần trong buồng chân không trong quá trình phủ mà còn có thể nhanh chóng bơm ra các khí thoát ra từ quá trình phun phủ và phủ ion, cũng như sự rò rỉ khí của quá trình phun phủ và phủ ion và hệ thống.
Khí rò rỉ trong quá trình phun phủ và phủ ion cũng có thể được hút ra nhanh chóng. Để nâng cao năng suất của máy phủ, máy cần phải hoạt động nhanh chóng.
(2) Độ chân không cuối cùng của hệ thống bơm máy phủ phải khác nhau tùy theo yêu cầu của các loại màng khác nhau. Bảng 7-9 là phạm vi độ chân không cần thiết cho quá trình phủ của các loại màng khác nhau.
(3) Trong hệ thống bơm khuếch tán dầu làm bơm chính, yêu cầu tốc độ hồi dầu của bơm càng nhỏ càng tốt, vì hơi dầu hồi sẽ làm ô nhiễm bề mặt phôi và làm giảm chất lượng màng. Trong quá trình phủ, khi yêu cầu chất lượng màng đặc biệt cao, tốt nhất nên sử dụng hệ thống bơm không dầu. Khi sử dụng hệ thống bơm khuếch tán dầu, cần phải đặt bẫy hấp phụ, bẫy lạnh và các bộ phận khác ở cửa hút của bơm, và cần chú ý đến độ dẫn điện của các bộ phận để đảm bảo hệ thống chân không duy trì tốc độ bơm tối đa.
(4) Tỷ lệ rò rỉ của buồng phủ chân không và hệ thống bơm của nó phải nhỏ, tức là ngay cả khi chỉ là rò rỉ khí vết, nó cũng sẽ ảnh hưởng đến chất lượng màng. Do đó, để đảm bảo hiệu suất làm kín của hệ thống, tổng tỷ lệ rò rỉ của hệ thống phải được giới hạn trong phạm vi cho phép.
(5) Việc vận hành, sử dụng và bảo trì hệ thống chân không phải thuận tiện, ổn định và đáng tin cậy.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 14/12/2023