La macchina per la deposizione sottovuoto con sistema di pompaggio presenta i seguenti requisiti di base:
(1) Il sistema di vuoto per la deposizione del rivestimento deve avere una portata di pompaggio sufficientemente elevata, tale da aspirare rapidamente non solo i gas rilasciati dal substrato e dai materiali evaporati e dai componenti nella camera a vuoto durante il processo di rivestimento, ma anche i gas rilasciati dal processo di sputtering e di rivestimento ionico, nonché le perdite di gas dal processo di sputtering e di rivestimento ionico e dal sistema.
Le perdite di gas durante i processi di sputtering e di rivestimento ionico possono essere rapidamente aspirate. Per migliorare la produttività della macchina di rivestimento, è necessario che questa sia in grado di operare rapidamente.
(2) Il vuoto finale del sistema di pompaggio della macchina di rivestimento dovrebbe essere diverso a seconda dei requisiti dei diversi film. La tabella 7-9 mostra l'intervallo di grado di vuoto richiesto dal processo di rivestimento dei diversi film.
(3) Nel sistema di pompaggio con pompa a diffusione d'olio, come pompa principale, è necessario che la velocità di ritorno dell'olio della pompa sia la più bassa possibile, perché il vapore d'olio di ritorno inquinerà la superficie del pezzo e causerà un deterioramento della qualità del film. Nei processi di rivestimento in cui i requisiti di qualità del film sono particolarmente elevati, è preferibile utilizzare un sistema di pompaggio senza olio. Quando si utilizza un sistema di pompaggio con pompa a diffusione d'olio, è necessario installare una trappola di adsorbimento all'ingresso della pompa, una trappola a freddo e altri componenti, e si deve prestare attenzione alla conduttività dei componenti per garantire che il sistema del vuoto mantenga la massima velocità di pompaggio.
(4) Il tasso di perdita della camera di rivestimento sottovuoto e del suo sistema di pompaggio deve essere basso, ovvero, anche se si tratta di una perdita di gas minima, essa influirà sulla qualità del film. Pertanto, al fine di garantire le prestazioni di tenuta del sistema, il tasso di perdita totale del sistema deve essere limitato all'intervallo consentito.
(5) Il funzionamento, l'uso e la manutenzione del sistema di vuoto devono essere convenienti, stabili e affidabili.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sottovuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 14 dicembre 2023