Ẹrọ fifa omi lori eto fifa omi ni awọn ibeere ipilẹ wọnyi:
(1) Ètò ìfọṣọ ìbòrí yẹ kí ó ní ìwọ̀n ìfọṣọ tó tóbi tó, èyí tí kò yẹ kí ó fa àwọn gáàsì tí a tú jáde láti inú substrate àti àwọn ohun èlò tí a ti yọ́ jáde àti àwọn èròjà inú yàrá ìfọṣọ jáde ní kíákíá nígbà tí a bá ń ṣe ìbòrí náà, ṣùgbọ́n kí ó tún lè fa àwọn gáàsì tí a tú jáde láti inú ìfọṣọ ìbòrí àti ìbòrí ion jáde kíákíá, àti jíjó gáàsì ti ìbòrí ìbòrí ìbòrí àti ìbòrí ion àti ètò náà.
A le fa jijo gaasi kuro lakoko sputtering ati ilana ioan coating naa ni kiakia. Lati le mu iṣelọpọ ẹrọ ideri naa dara si, o yẹ ki o le ṣiṣẹ ni kiakia.
(2) Ipese fifẹ ti o ga julọ ti eto fifa ẹrọ ideri yẹ ki o yatọ gẹgẹbi awọn ibeere ti awọn fiimu oriṣiriṣi. Tabili 7-9 ni iwọn iwọn fifẹ ti ilana fifọ ti awọn fiimu oriṣiriṣi nilo.
(3) Nínú ẹ̀rọ fifa epo, bí ètò fifa epo ṣe ń béèrè, ìwọ̀n àtúnṣe epo tí ẹ̀rọ fifa epo náà ń gbà kéré tó, nítorí pé èéfín epo tí ó ń padà yóò ba ojú iṣẹ́ náà jẹ́, yóò sì fa kí dídára fíìmù náà dínkù. Nínú àwọn ohun tí a nílò láti fi ṣe àkójọpọ̀ fíìmù náà, ó dára láti lo ẹ̀rọ fifa epo tí kò ní epo. Nígbà tí a bá ń lo ẹ̀rọ fifa epo, ó yẹ kí a gbé e kalẹ̀ sínú ẹ̀rọ fifa epo, ẹ̀rọ tí ó ń fa omi tútù àti àwọn èròjà mìíràn, kí a sì kíyèsí bí àwọn èròjà náà ṣe ń ṣiṣẹ́ láti rí i dájú pé ẹ̀rọ fifa epo náà ń mú kí ó yára tóbi jù.
(4) Oṣuwọn jijo ti yara ideri afẹfẹ ati eto fifa omi rẹ yẹ ki o kere, iyẹn ni pe, paapaa ti o ba jẹ jijo gaasi ti o wa ni itọpa, yoo ni ipa lori didara fiimu naa. Nitorinaa, lati rii daju pe iṣẹ ṣiṣe didi ti eto naa, apapọ oṣuwọn jijo ti eto naa gbọdọ wa ni opin si ibiti a gba laaye.
(5) Iṣẹ́, lílò àti ìtọ́jú ètò ìfọṣọ gbọ́dọ̀ jẹ́ iṣẹ́ tó rọrùn, tó dúró ṣinṣin àti tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-14-2023