Ẹrọ fifa omi lori eto fifa omi ni awọn ibeere ipilẹ wọnyi:
(1) Ètò ìfọṣọ ìbòrí yẹ kí ó ní ìwọ̀n ìfọṣọ tó tóbi tó, èyí tí kò yẹ kí ó fa àwọn gáàsì tí a tú jáde láti inú substrate àti àwọn ohun èlò tí a ti yọ́ jáde àti àwọn èròjà inú yàrá ìfọṣọ jáde ní kíákíá nígbà tí a bá ń ṣe ìbòrí náà, ṣùgbọ́n kí ó tún lè fa àwọn gáàsì tí a tú jáde láti inú ìfọṣọ ìbòrí àti ìbòrí ìbòrí ìbòrí ìbòrí ìbòrí náà kíákíá, àti jíjó gáàsì ti ìgbóná omi àti ìbòrí ìbòrí ìbòrí ìbòrí àti ètò náà.
A le fa jijo gaasi kuro lakoko sputtering ati ilana ioan coating naa ni kiakia. Lati le mu iṣelọpọ ẹrọ ideri naa dara si, o yẹ ki o le ṣiṣẹ ni kiakia.
(2) Ipese fifẹ ti o ga julọ ti eto fifa ẹrọ ideri yẹ ki o yatọ gẹgẹbi awọn ibeere ti awọn fiimu oriṣiriṣi. Tabili 7-9 ni iwọn iwọn fifẹ ti ilana fifọ ti awọn fiimu oriṣiriṣi nilo.
(3) Nínú ẹ̀rọ fifa epo, bí ètò fifa epo ṣe ń béèrè, ìwọ̀n àtúnpadà epo tí ẹ̀rọ fifa epo náà ń lò kéré tó bí ó ti ṣeé ṣe tó, nítorí pé èéfín epo tí ń padà yóò ba ojú iṣẹ́ náà jẹ́, yóò sì fa kí dídára fíìmù náà dínkù. Nínú àwọn ohun tí a nílò láti fi ṣe àwọ̀ fíìmù náà, ó dára láti lo ẹ̀rọ fifa epo tí kò ní epo. Nígbà tí a bá ń lo ẹ̀rọ fifa epo, ó yẹ kí a gbé e kalẹ̀ sínú ẹ̀rọ fifa epo, ẹ̀rọ tí ó ní ìdènà tútù àti àwọn èròjà mìíràn, kí a sì kíyèsí bí ẹ̀rọ fifa epo náà ṣe ń ṣiṣẹ́ láti rí i dájú pé ẹ̀rọ fifa epo náà ń ṣiṣẹ́ dáadáa.
(4) Oṣuwọn jijo ti yara ideri afẹfẹ ati eto fifa omi rẹ yẹ ki o kere, iyẹn ni pe, paapaa ti o ba jẹ jijo gaasi ti o wa ni itọpa, yoo ni ipa lori didara fiimu naa. Nitorinaa, lati rii daju pe iṣẹ ṣiṣe didi ti eto naa, apapọ oṣuwọn jijo ti eto naa gbọdọ wa ni opin si ibiti a gba laaye.
(5) Iṣẹ́, lílò àti ìtọ́jú ètò ìfọṣọ yẹ kí ó rọrùn, dúró ṣinṣin àti iṣẹ́ tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-14-2023