La machine de revêtement sous vide sur le système de pompage présente les exigences de base suivantes :
(1) Le système de vide de revêtement doit avoir un débit de pompage suffisamment élevé, qui doit non seulement pomper rapidement les gaz libérés par le substrat et les matériaux évaporés et les composants de la chambre à vide pendant le processus de revêtement, mais aussi être capable de pomper rapidement les gaz libérés par le processus de pulvérisation cathodique et de revêtement ionique, ainsi que les fuites de gaz du processus de pulvérisation cathodique et de revêtement ionique et du système.
Les fuites de gaz survenant lors des procédés de pulvérisation cathodique et de revêtement ionique peuvent être rapidement éliminées. Afin d'améliorer la productivité de la machine de revêtement, il est essentiel qu'elle fonctionne rapidement.
(2) Le vide limite du système de pompage de la machine de revêtement doit être adapté aux exigences des différents films. Le tableau 7-9 présente la plage de vide requise pour le procédé de revêtement de différents films.
(3) Dans un système de pompage à pompe à diffusion d'huile, le taux de retour d'huile doit être minimal, car les vapeurs d'huile risquent de contaminer la surface de la pièce et d'altérer la qualité du film. Lorsque les exigences de qualité du film sont particulièrement élevées lors du revêtement, il est préférable d'utiliser un système de pompage sans huile. Lors de l'utilisation d'un tel système, il convient d'installer à l'entrée de la pompe un piège à adsorption, un piège à froid et d'autres composants, et de veiller à la conductivité de ces derniers afin de garantir le maintien d'une vitesse de pompage maximale dans le système de vide.
(4) Le taux de fuite de la chambre de revêtement sous vide et de son système de pompage doit être faible ; même une fuite de gaz infime affecte la qualité du film. Par conséquent, pour garantir l’étanchéité du système, le taux de fuite total doit être limité à la plage admissible.
(5) Le fonctionnement, l'utilisation et l'entretien du système de vide doivent être pratiques, stables et fiables.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 14 décembre 2023