A máquina de revestimento a vácuo com sistema de bombeamento possui os seguintes requisitos básicos:
(1) O sistema de vácuo de revestimento deve ter uma taxa de bombeamento suficientemente grande, que não só deve bombear rapidamente os gases liberados do substrato e dos materiais evaporados e dos componentes na câmara de vácuo durante o processo de revestimento, mas também ser capaz de bombear rapidamente os gases liberados do processo de pulverização catódica e revestimento iônico, bem como o vazamento de gás do processo de pulverização catódica e revestimento iônico e do sistema.
O vazamento de gás durante o processo de pulverização catódica e revestimento iônico também pode ser extraído rapidamente. Para melhorar a produtividade da máquina de revestimento, ela deve ser capaz de operar rapidamente.
(2) O vácuo final do sistema de bombeamento da máquina de revestimento deve ser diferente de acordo com os requisitos de diferentes filmes. A Tabela 7-9 é a faixa de grau de vácuo necessária para o processo de revestimento de diferentes filmes.
(3) Em sistemas de bombeamento com bomba de difusão de óleo, a taxa de retorno de óleo deve ser a menor possível, pois o vapor de óleo de retorno contaminará a superfície da peça e causará a redução da qualidade do filme. Em processos de revestimento onde os requisitos de qualidade do filme são particularmente elevados, é recomendável o uso de um sistema de bombeamento isento de óleo. Ao utilizar um sistema de bombeamento com bomba de difusão de óleo, devem ser instalados na entrada da bomba um filtro de adsorção, um filtro frio e outros componentes, e deve-se atentar para a condutividade desses componentes para garantir que o sistema de vácuo mantenha a velocidade máxima de bombeamento.
(4) A taxa de vazamento da câmara de revestimento a vácuo e do seu sistema de bombeamento deve ser pequena, ou seja, mesmo que seja um vazamento de gás residual, afetará a qualidade do filme. Portanto, para garantir o desempenho de vedação do sistema, a taxa de vazamento total do sistema deve ser limitada à faixa permitida.
(5) A operação, o uso e a manutenção do sistema de vácuo devem ser convenientes, estáveis e de desempenho confiável.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Data da publicação: 14 de dezembro de 2023