Насос системасындагы вакуум каплау машинасы түбәндәге төп таләпләргә ия:
(1) Каплау вакуум системасы җитәрлек зур насослау тизлегенә ия булырга тиеш, ул каплау процессында субстраттан һәм парга әйләнгән материаллардан һәм вакуум камерасындагы компонентлардан бүленеп чыккан газларны тиз генә чыгарып кына калмаска, ә сиптерү һәм ион белән каплау процессыннан бүленеп чыккан газларны, шулай ук сиптерү һәм ион белән каплау процессыннан һәм системадан газ агып чыгуны да тиз арада чыгарып җибәрә алырга тиеш.
Сиптерү һәм ион белән каплау процессы вакытында газ агып чыгуны да тиз арада чыгарырга мөмкин. Каплау машинасының җитештерүчәнлеген арттыру өчен, ул тиз эшли алырга тиеш.
(2) Каплау машинасы насос системасының чик вакуумы төрле пленкаларның таләпләренә карап төрле булырга тиеш. 7-9 таблицада төрле пленкаларны каплау процессы өчен кирәкле вакуум дәрәҗәсе диапазоны күрсәтелгән.
(3) Май диффузия насосында төп насос системасы буларак, насосның майның кире кайту тизлеге мөмкин кадәр аз булырга тиеш, чөнки кире кайту май пары эш кисәгенең өслеген пычратачак һәм пленка сыйфатын киметәчәк. Пленка сыйфатына таләпләр аеруча югары, каплау процессында майсыз насос системасын куллану яхшырак. Май диффузия насосы насос системасын кулланганда, насос керү урынына адсорбция тозагы, салкын тозак һәм башка компонентлар урнаштырылырга тиеш, һәм вакуум системасының максималь насос тизлеген саклап калуын тәэмин итү өчен компонентларның үткәрүчәнлегенә игътибар итәргә кирәк.
(4) Вакуум каплау камерасының һәм аның насос системасының агып чыгу тизлеге аз булырга тиеш, ягъни, хәтта ул эзлекле газ агып чыгу булса да, ул пленка сыйфатына тәэсир итәчәк. Шуңа күрә, системаның герметик эшчәнлеген тәэмин итү өчен, системаның гомуми агып чыгу тизлеге рөхсәт ителгән диапазон белән чикләнергә тиеш.
(5) Вакуум системасын эшләтү, куллану һәм хезмәт күрсәтү уңайлы, тотрыклы һәм ышанычлы булырга тиеш.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 14 декабре