Mesin pelapis vakum pada sistem pemompaan memiliki persyaratan dasar sebagai berikut:
(1) Sistem vakum pelapisan harus memiliki laju pemompaan yang cukup besar, yang tidak hanya dapat memompa keluar gas yang dilepaskan dari substrat dan bahan yang menguap serta komponen di dalam ruang vakum selama proses pelapisan, tetapi juga dapat memompa keluar gas yang dilepaskan dari proses sputtering dan pelapisan ion, serta kebocoran gas dari proses sputtering dan pelapisan ion dan sistem.
Kebocoran gas selama proses sputtering dan pelapisan ion juga dapat diekstraksi dengan cepat. Untuk meningkatkan produktivitas mesin pelapis, mesin tersebut harus mampu beroperasi dengan cepat.
(2) Vakum akhir dari sistem pemompaan mesin pelapis harus berbeda sesuai dengan persyaratan film yang berbeda. Tabel 7-9 adalah kisaran derajat vakum yang dibutuhkan oleh proses pelapisan film yang berbeda.
(3) Pada pompa difusi oli sebagai sistem pemompaan utama, laju pengembalian oli pompa harus sekecil mungkin, karena uap oli yang kembali akan mencemari permukaan benda kerja dan menyebabkan kualitas lapisan menurun. Dalam proses pelapisan yang persyaratan kualitas lapisannya sangat tinggi, sebaiknya menggunakan sistem pemompaan bebas oli. Saat menggunakan sistem pemompaan pompa difusi oli, harus dipasang perangkap adsorpsi, perangkap dingin, dan komponen lainnya di saluran masuk pompa, dan harus memperhatikan konduktivitas komponen untuk memastikan sistem vakum mempertahankan kecepatan pemompaan maksimum.
(4) Tingkat kebocoran ruang pelapisan vakum dan sistem pemompaannya harus kecil, yaitu, meskipun hanya kebocoran gas dalam jumlah kecil, akan mempengaruhi kualitas film. Oleh karena itu, untuk memastikan kinerja penyegelan sistem, tingkat kebocoran total sistem harus dibatasi pada kisaran yang diizinkan.
(5) Pengoperasian, penggunaan, dan pemeliharaan sistem vakum harus mudah, stabil, dan memiliki kinerja yang andal.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 14 Desember 2023