Mga Kinakailangan sa Vacuum Coating Machine ng Sistema ng Pagbomba

Ang vacuum coating machine sa pumping system ay may mga sumusunod na pangunahing kinakailangan:

(1) Ang coating vacuum system ay dapat magkaroon ng sapat na malaking pumping rate, na hindi lamang dapat mabilis na magbomba palabas ng mga gas na inilabas mula sa substrate at mga ebaporadang materyales at mga bahagi sa vacuum chamber habang isinasagawa ang proseso ng coating, kundi pati na rin ay mabilis na makapagbomba palabas ng mga gas na inilabas mula sa sputtering at ion coating process, pati na rin ang gas leakage ng sputtering at ion coating process at ng sistema.

Ang pagtagas ng gas habang nag-sputtering at nagpoproseso ng ion coating ay maaari ring mabilis na matanggal. Upang mapabuti ang produktibidad ng makinang pang-coating, dapat itong gumana nang mabilis.

(2) Ang ultimate vacuum ng coating machine pumping system ay dapat na magkaiba ayon sa mga kinakailangan ng iba't ibang film. Ang Talahanayan 7-9 ay ang saklaw ng vacuum degree na kinakailangan ng proseso ng coating ng iba't ibang film.

(3) Sa oil diffusion pump bilang pangunahing sistema ng pagbomba, ang oil return rate ng bomba ay dapat na kasingliit hangga't maaari, dahil ang return oil vapor ay magpaparumi sa ibabaw ng workpiece at magdudulot ng pagbaba sa kalidad ng film. Sa proseso ng patong, kung saan ang kalidad ng film ay partikular na mataas, pinakamahusay na gumamit ng oil-free pumping system. Kapag gumagamit ng oil diffusion pump pumping system, dapat ilagay ang adsorption trap, cold trap, at iba pang bahagi sa pump inlet, at dapat bigyang-pansin ang conductivity ng mga bahagi upang matiyak na mapanatili ng vacuum system ang pinakamataas na bilis ng pagbomba.

(4) Ang leakage rate ng vacuum coating chamber at ng pumping system nito ay dapat maliit, ibig sabihin, kahit na ito ay isang trace gas leakage, makakaapekto ito sa kalidad ng film. Samakatuwid, upang matiyak ang sealing performance ng sistema, ang total leakage rate ng sistema ay dapat limitahan sa pinapayagang saklaw.

(5) Ang operasyon, paggamit, at pagpapanatili ng sistema ng vacuum ay dapat na maginhawa, matatag, at maaasahan.

–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua