Maszyna do powlekania próżniowego w układzie pompowym ma następujące podstawowe wymagania:
(1) Układ próżniowego powlekania powinien mieć odpowiednio dużą wydajność pompowania, która nie tylko powinna szybko wypompowywać gazy uwalniane z podłoża i odparowanych materiałów oraz składników w komorze próżniowej podczas procesu powlekania, ale także umożliwiać szybkie wypompowywanie gazów uwalnianych z procesu rozpylania i powlekania jonowego, a także wyciek gazu z procesu rozpylania i powlekania jonowego oraz z układu.
Wyciek gazu podczas rozpylania i powlekania jonowego można również szybko usunąć. Aby zwiększyć wydajność maszyny do powlekania, powinna ona działać szybko.
(2) Końcowa próżnia układu pompującego maszyny powlekającej powinna być zróżnicowana w zależności od wymagań różnych folii. Tabela 7-9 przedstawia zakres stopnia próżni wymagany w procesie powlekania różnych folii.
(3) W przypadku pompy dyfuzyjnej oleju, będącej główną pompą, system pompowania wymaga, aby wydajność powrotu oleju była jak najmniejsza, ponieważ powracające opary oleju zanieczyszczają powierzchnię obrabianego przedmiotu i obniżają jakość powłoki. W procesie powlekania, gdzie wymagania jakościowe są szczególnie wysokie, najlepiej jest zastosować system pompowania bezolejowego. W przypadku systemu pompowania z pompą dyfuzyjną oleju, należy zainstalować na wlocie pompy pułapkę adsorpcyjną, wymrażarkę i inne elementy, a także zwrócić uwagę na przewodność elektryczną tych elementów, aby zapewnić maksymalną prędkość pompowania w systemie próżniowym.
(4) Przeciek komory próżniowej i jej układu pompowego powinien być niewielki, tzn. nawet śladowy wyciek gazu wpłynie na jakość powłoki. Dlatego, aby zapewnić szczelność układu, całkowity przeciek układu musi mieścić się w dopuszczalnym zakresie.
(5) Obsługa, użytkowanie i konserwacja układu próżniowego powinny być wygodne, stabilne i niezawodne.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 14 grudnia 2023 r.