เครื่องเคลือบสุญญากาศแบบใช้ระบบปั๊มมีข้อกำหนดพื้นฐานดังต่อไปนี้:
(1) ระบบสุญญากาศสำหรับการเคลือบควรมีอัตราการสูบจ่ายที่มากพอ ซึ่งไม่เพียงแต่จะสามารถสูบก๊าซที่ปล่อยออกมาจากพื้นผิวและวัสดุที่ระเหยและส่วนประกอบในห้องสุญญากาศระหว่างกระบวนการเคลือบได้อย่างรวดเร็วเท่านั้น แต่ยังต้องสามารถสูบก๊าซที่ปล่อยออกมาจากกระบวนการสปัตเตอร์และการเคลือบไอออน ตลอดจนการรั่วไหลของก๊าซจากกระบวนการสปัตเตอร์และการเคลือบไอออนและระบบได้อย่างรวดเร็วด้วย
การรั่วไหลของก๊าซระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์และการเคลือบด้วยไอออนสามารถระบายออกได้อย่างรวดเร็วเช่นกัน เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตของเครื่องเคลือบ ควรทำให้เครื่องทำงานได้อย่างรวดเร็ว
(2) ระดับสุญญากาศสูงสุดของระบบปั๊มเครื่องเคลือบควรแตกต่างกันไปตามข้อกำหนดของฟิล์มแต่ละชนิด ตารางที่ 7-9 แสดงช่วงระดับสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับกระบวนการเคลือบฟิล์มแต่ละชนิด
(3) ในปั๊มกระจายน้ำมันเป็นระบบปั๊มหลัก จำเป็นต้องมีอัตราการไหลกลับของน้ำมันน้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ เนื่องจากไอน้ำมันที่ไหลกลับจะทำให้พื้นผิวของชิ้นงานสกปรกและทำให้คุณภาพของฟิล์มลดลง ในกระบวนการเคลือบที่ต้องการคุณภาพของฟิล์มสูงเป็นพิเศษ ควรใช้ระบบปั๊มแบบไร้น้ำมัน เมื่อใช้ระบบปั๊มกระจายน้ำมัน ควรติดตั้งกับดักดูดซับ กับดักความเย็น และส่วนประกอบอื่นๆ ที่ทางเข้าของปั๊ม และควรให้ความสำคัญกับค่าการนำไฟฟ้าของส่วนประกอบต่างๆ เพื่อให้แน่ใจว่าระบบสุญญากาศสามารถรักษาความเร็วในการสูบสูงสุดได้
(4) อัตราการรั่วไหลของห้องเคลือบสุญญากาศและระบบปั๊มควรมีน้อย กล่าวคือ แม้จะเป็นการรั่วไหลของก๊าซเพียงเล็กน้อย ก็จะส่งผลต่อคุณภาพของฟิล์ม ดังนั้น เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพการปิดผนึกของระบบ อัตราการรั่วไหลโดยรวมของระบบจะต้องถูกจำกัดให้อยู่ในขอบเขตที่อนุญาต
(5) การทำงาน การใช้งาน และการบำรุงรักษาระบบสุญญากาศควรสะดวก มีเสถียรภาพ และมีประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว
วันที่โพสต์: 14 ธันวาคม 2023