펌핑 시스템을 사용하는 진공 코팅기는 다음과 같은 기본 요건을 충족해야 합니다.
(1) 코팅 진공 시스템은 충분히 큰 펌핑 속도를 가져야 하며, 코팅 공정 중 기판과 증발된 물질 및 진공 챔버 내의 구성 요소에서 방출되는 가스를 빠르게 펌핑할 뿐만 아니라 스퍼터링 및 이온 코팅 공정에서 방출되는 가스와 스퍼터링 및 이온 코팅 공정 및 시스템의 가스 누출도 빠르게 펌핑할 수 있어야 합니다.
스퍼터링 및 이온 코팅 공정 중 발생하는 가스 누출도 신속하게 제거할 수 있습니다. 코팅 장비의 생산성을 향상시키기 위해서는 신속한 작동이 필수적입니다.
(2) 코팅기 펌핑 시스템의 최종 진공도는 필름의 종류에 따라 달라져야 한다. 표 7-9는 필름의 코팅 공정에 필요한 진공도의 범위이다.
(3) 오일 확산 펌프를 주 펌프로 사용하는 펌핑 시스템에서는 펌프의 오일 회수율이 가능한 한 작아야 합니다. 회수되는 오일 증기가 공작물의 표면을 오염시키고 도막 품질을 저하시키기 때문입니다. 코팅 공정에서 도막 품질에 대한 요구 사항이 특히 높은 경우에는 오일 프리 펌핑 시스템을 사용하는 것이 가장 좋습니다. 오일 확산 펌프 펌핑 시스템을 사용할 때는 펌프 입구에 흡착 트랩, 콜드 트랩 등의 구성 요소를 설치해야 하며, 진공 시스템이 최대 펌핑 속도를 유지할 수 있도록 구성 요소의 전도성에 주의해야 합니다.
(4) 진공 코팅 챔버 및 펌핑 시스템의 누출률은 작아야 합니다. 즉, 미량의 가스 누출이라도 필름의 품질에 영향을 미칩니다. 따라서 시스템의 밀봉 성능을 보장하기 위해 시스템의 총 누출률은 허용 범위로 제한되어야 합니다.
(5) 진공 시스템의 작동, 사용 및 유지 관리는 편리하고 안정적이며 신뢰할 수 있는 성능을 가져야 합니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2023년 12월 14일