Mesin pelapisan vakum ing sistem pompa nduweni syarat dhasar ing ngisor iki:
(1) Sistem vakum lapisan kudu duwe tingkat pompa sing cukup gedhe, sing ora mung kudu cepet mompa gas sing dibebasake saka substrat lan bahan sing nguap lan komponen ing ruang vakum sajrone proses lapisan, nanging uga bisa cepet mompa gas sing dibebasake saka proses sputtering lan lapisan ion, uga kebocoran gas saka proses sputtering lan lapisan ion lan sistem kasebut.
Kebocoran gas sajrone proses sputtering lan pelapisan ion uga bisa diilangi kanthi cepet. Kanggo ningkatake produktivitas mesin pelapisan, mesin kasebut kudu bisa beroperasi kanthi cepet.
(2) Vakum pamungkas sistem pompa mesin pelapisan kudu beda-beda miturut kabutuhan film sing beda-beda. Tabel 7-9 minangka kisaran derajat vakum sing dibutuhake dening proses pelapisan film sing beda-beda.
(3) Ing pompa difusi lenga minangka sistem pompa utama mbutuhake tingkat bali lenga pompa sekecil mungkin, amarga uap lenga bali bakal ngrusak permukaan benda kerja lan nyebabake kualitas film mudhun. Ing syarat kualitas film sing dhuwur banget ing proses pelapisan, luwih becik nggunakake sistem pompa bebas lenga. Nalika nggunakake sistem pompa pompa difusi lenga, kudu disetel ing jebakan adsorpsi inlet pompa, jebakan adhem lan komponen liyane, lan kudu menehi perhatian marang konduktivitas komponen kanggo mesthekake yen sistem vakum njaga kecepatan pompa maksimal.
(4) Tingkat kebocoran ruang lapisan vakum lan sistem pompane kudu cilik, yaiku, sanajan mung bocor gas sithik, bakal mengaruhi kualitas film kasebut. Mulane, kanggo njamin kinerja penyegelan sistem, tingkat kebocoran total sistem kudu diwatesi ing kisaran sing diidinake.
(5) Operasi, panggunaan, lan pangopènan sistem vakum kudu trep, stabil, lan kinerja sing bisa dipercaya.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 14 Desember 2023