የፓምፕ ሲስተም የቫኩም ሽፋን ማሽን መስፈርቶች

በፓምፕ ሲስተም ላይ የቫኩም ሽፋን ማሽን የሚከተሉትን መሰረታዊ መስፈርቶች አሉት

(1) የሽፋን ቫክዩም ሲስተም በቂ የሆነ ትልቅ የፓምፕ ፍጥነት ሊኖረው ይገባል፣ ይህም በሽፋን ሂደቱ ወቅት ከንጥረ ነገር፣ ከተተነኑ ቁሳቁሶች እና በቫክዩም ክፍል ውስጥ ካሉ ክፍሎች የሚለቀቁትን ጋዞች በፍጥነት ከማስወጣት ባለፈ፣ ከስፐተር እና ከአዮን ሽፋን ሂደት የሚወጡትን ጋዞች እንዲሁም የስፐተር እና የአዮን ሽፋን ሂደት እና ስርዓቱ የጋዝ መፍሰስን በፍጥነት ማስወጣት መቻል አለበት።

በሚተነፍሱበት ጊዜ የሚፈጠረው የጋዝ መፍሰስ እና የአዮን ሽፋን ሂደት በፍጥነት ሊወጣ ይችላል። የሽፋን ማሽኑን ምርታማነት ለማሻሻል በፍጥነት መሥራት መቻል አለበት።

(2) የሽፋን ማሽን ፓምፕ ሲስተም የመጨረሻው የቫክዩም መጠን እንደ የተለያዩ ፊልሞች መስፈርቶች የተለየ መሆን አለበት። ሠንጠረዥ 7-9 የተለያዩ ፊልሞች የሽፋን ሂደት የሚፈልገው የቫክዩም ዲግሪ ክልል ነው።

(3) በነዳጅ ማሰራጫ ፓምፕ ውስጥ ዋናው የፓምፕ ፓምፕ ሲስተም ስለሚፈልግ የፓምፑ የነዳጅ መመለሻ መጠን በተቻለ መጠን አነስተኛ ነው፣ ምክንያቱም የመመለሻ ዘይት ትነት የስራውን ወለል ስለሚበክል የፊልሙ ጥራት እንዲቀንስ ያደርጋል። በፊልሙ የጥራት መስፈርቶች በተለይ በሽፋን ሂደት ውስጥ ከፍተኛ ሲሆኑ፣ ዘይት-አልባ የፓምፕ ሲስተምን መጠቀም ጥሩ ነው። የዘይት ማሰራጫ ፓምፕ ፓምፕ ሲስተም ሲጠቀሙ፣ በፓምፕ መግቢያ መምጠጥ ወጥመድ፣ ቀዝቃዛ ወጥመድ እና ሌሎች ክፍሎች ውስጥ መቀመጥ አለባቸው፣ እና የቫክዩም ስርዓቱ ከፍተኛውን የፓምፕ ፍጥነት እንዲጠብቅ ለማረጋገጥ ለክፍሎቹ ኮንዳክሽን ትኩረት መስጠት አለበት።

(4) የቫክዩም ሽፋን ክፍል እና የፓምፕ ሲስተም የፍሳሽ መጠን አነስተኛ መሆን አለበት፣ ማለትም፣ የዱካ ጋዝ መፍሰስ ቢሆንም እንኳ የፊልሙን ጥራት ይጎዳል። ስለዚህ፣ የስርዓቱን የማተሚያ አፈጻጸም ለማረጋገጥ፣ የስርዓቱ አጠቃላይ የፍሳሽ መጠን በሚፈቀደው ክልል ውስጥ ብቻ የተገደበ መሆን አለበት።

(5) የቫኩም ሲስተም አሠራር፣ አጠቃቀም እና ጥገና ምቹ፣ የተረጋጋ እና አስተማማኝ አፈጻጸም መሆን አለበት።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ