Mesin salutan vakum pada sistem pam mempunyai keperluan asas berikut:
(1) Sistem vakum salutan harus mempunyai kadar pam yang cukup besar, yang bukan sahaja harus mengepam keluar gas yang dilepaskan dari substrat dan bahan yang tersejat serta komponen dalam ruang vakum dengan cepat semasa proses salutan, tetapi juga dapat mengepam keluar gas yang dilepaskan dari proses salutan percikan dan ion dengan cepat, serta kebocoran gas proses salutan percikan dan ion dan sistem.
Kebocoran gas semasa proses percikan dan salutan ion juga boleh diekstrak dengan cepat. Untuk meningkatkan produktiviti mesin salutan, ia sepatutnya dapat beroperasi dengan cepat.
(2) Vakum muktamad sistem pam mesin salutan hendaklah berbeza mengikut keperluan filem yang berbeza. Jadual 7-9 ialah julat darjah vakum yang diperlukan oleh proses salutan filem yang berbeza.
(3) Dalam pam resapan minyak sebagai sistem pam utama memerlukan kadar pulangan minyak pam sekecil mungkin, kerana wap minyak pulangan akan mencemarkan permukaan bahan kerja dan menyebabkan kualiti filem menurun. Dalam keperluan kualiti filem yang sangat tinggi dalam proses salutan, adalah lebih baik menggunakan sistem pam bebas minyak. Apabila menggunakan sistem pam pam resapan minyak, perlu ditetapkan dalam perangkap penjerapan masuk pam, perangkap sejuk dan komponen lain, dan harus memberi perhatian kepada kekonduksian komponen untuk memastikan sistem vakum mengekalkan kelajuan pam maksimum.
(4) Kadar kebocoran ruang salutan vakum dan sistem pamnya hendaklah kecil, iaitu, walaupun ia adalah kebocoran gas surih, ia akan menjejaskan kualiti filem. Oleh itu, untuk memastikan prestasi pengedap sistem, jumlah kadar kebocoran sistem mesti dihadkan kepada julat yang dibenarkan.
(5) Operasi, penggunaan dan penyelenggaraan sistem vakum hendaklah mudah, stabil dan boleh dipercayai.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 14 Dis-2023