Вакуумная установка для нанесения покрытий на насосную систему должна соответствовать следующим основным требованиям:
(1) Вакуумная система нанесения покрытия должна иметь достаточно высокую скорость откачки, которая должна не только быстро откачивать газы, выделяющиеся из подложки и испаряемых материалов, а также компонентов в вакуумной камере во время процесса нанесения покрытия, но и быстро откачивать газы, выделяющиеся в процессе распыления и ионного нанесения покрытия, а также устранять утечки газа в процессе распыления и ионного нанесения покрытия и в системе.
Утечку газа в процессе магнетронного распыления и ионного нанесения покрытия также можно быстро устранить. Для повышения производительности установки для нанесения покрытия она должна работать быстро.
(2) Максимальный вакуум в насосной системе машины для нанесения покрытия должен быть различным в зависимости от требований к различным пленкам. В таблице 7-9 указан диапазон степени вакуума, требуемый для процесса нанесения покрытия на различные пленки.
(3) В системе диффузионного масляного насоса, являющегося основным насосом, требуется, чтобы скорость возврата масла была как можно меньше, поскольку возвращающиеся пары масла загрязняют поверхность заготовки и приводят к ухудшению качества пленки. В процессе нанесения покрытия требования к качеству пленки особенно высоки, поэтому лучше всего использовать безмасляную насосную систему. При использовании системы диффузионного масляного насоса следует установить на входе насоса адсорбционную ловушку, холодную ловушку и другие компоненты, а также обратить внимание на проводимость этих компонентов, чтобы обеспечить поддержание максимальной скорости откачки в вакуумной системе.
(4) Скорость утечки вакуумной камеры нанесения покрытия и ее насосной системы должна быть небольшой, то есть даже если это будет утечка следового газа, это повлияет на качество пленки. Поэтому для обеспечения герметичности системы общая скорость утечки системы должна быть ограничена допустимым диапазоном.
(5) Эксплуатация, использование и техническое обслуживание вакуумной системы должны быть удобными, стабильными и надежными.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 14 декабря 2023 г.