Die Vakuumbeschichtungsanlage mit Pumpsystem hat folgende grundlegende Anforderungen:
(1) Das Beschichtungsvakuumsystem sollte über eine ausreichend hohe Pumpleistung verfügen, um nicht nur die Gase, die während des Beschichtungsprozesses vom Substrat und den verdampften Materialien sowie den Komponenten in der Vakuumkammer freigesetzt werden, schnell abzusaugen, sondern auch die Gase, die beim Sputter- und Ionenbeschichtungsprozess freigesetzt werden, sowie die Gasleckagen des Sputter- und Ionenbeschichtungsprozesses und des Systems schnell abzusaugen.
Das während des Sputter- und Ionenbeschichtungsprozesses austretende Gas kann ebenfalls schnell abgesaugt werden. Um die Produktivität der Beschichtungsanlage zu steigern, muss sie schnell arbeiten können.
(2) Das Endvakuum des Pumpensystems der Beschichtungsanlage muss je nach den Anforderungen der verschiedenen Folien unterschiedlich sein. Tabelle 7-9 zeigt den für den Beschichtungsprozess verschiedener Folien erforderlichen Vakuumbereich.
(3) Bei Öldiffusionspumpen als Hauptpumpe muss die Ölrücklaufrate so gering wie möglich sein, da die zurückfließenden Öldämpfe die Werkstückoberfläche verunreinigen und die Filmqualität beeinträchtigen. Bei besonders hohen Anforderungen an die Filmqualität im Beschichtungsprozess empfiehlt sich der Einsatz eines ölfreien Pumpsystems. Bei Verwendung von Öldiffusionspumpen sollten am Pumpeneinlass Adsorptionsfallen, Kühlfallen und weitere Komponenten installiert werden. Die Leitfähigkeit dieser Komponenten ist zu beachten, um die maximale Förderleistung des Vakuumsystems zu gewährleisten.
(4) Die Leckrate der Vakuumbeschichtungskammer und ihres Pumpsystems muss gering sein, da selbst Spuren von Gasleckagen die Filmqualität beeinträchtigen. Um die Dichtheit des Systems zu gewährleisten, muss die Gesamtleckrate daher innerhalb des zulässigen Bereichs liegen.
(5) Der Betrieb, die Nutzung und die Wartung des Vakuumsystems sollten komfortabel, stabil und zuverlässig sein.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsmaschinenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungsdatum: 14. Dezember 2023