Mesin palapis vakum dina sistem pompa ngagaduhan sarat dasar ieu:
(1) Sistem vakum palapis kedah gaduh laju pompa anu cekap ageung, anu henteu ngan ukur kedah gancang ngompa kaluar gas anu dileupaskeun tina substrat sareng bahan anu nguap sareng komponén dina ruang vakum salami prosés palapis, tapi ogé tiasa gancang ngompa kaluar gas anu dileupaskeun tina prosés sputtering sareng palapis ion, ogé bocor gas tina prosés sputtering sareng palapis ion sareng sistem.
Bocorna gas nalika prosés sputtering sareng palapis ion ogé tiasa gancang diatasi. Pikeun ningkatkeun produktivitas mesin palapis, éta kedah tiasa beroperasi gancang.
(2) Vakum pamungkas tina sistem pompa mesin palapis kedah béda-béda numutkeun sarat pilem anu béda. Tabel 7-9 nyaéta rentang derajat vakum anu diperyogikeun ku prosés palapis pilem anu béda-béda.
(3) Dina pompa difusi minyak salaku sistem pompa utama merlukeun laju mulang minyak pompa anu sakedik-sakedikna, sabab uap minyak anu mulang bakal ngotoran permukaan benda kerja sareng nyababkeun kualitas pilem turun. Dina sarat kualitas pilem anu luhur pisan dina prosés palapis, langkung saé nganggo sistem pompa bébas minyak. Nalika nganggo sistem pompa pompa difusi minyak, kedah disetel dina bubu adsorpsi asupan pompa, bubu tiis sareng komponén sanésna, sareng kedah merhatikeun konduktivitas komponén pikeun mastikeun yén sistem vakum ngajaga kecepatan pompa maksimum.
(4) Laju bocorna rohangan palapis vakum sareng sistem pompana kedah alit, nyaéta, sanaos éta mangrupikeun bocor gas anu sakedik, éta bakal mangaruhan kualitas pilem. Ku alatan éta, pikeun mastikeun kinerja panyegelan sistem, laju bocor total sistem kedah diwatesan kana rentang anu diidinan.
(5) Operasi, panggunaan, sareng pangropéa sistem vakum kedah merenah, stabil, sareng kinerjana tiasa dipercaya.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 14 Désémber 2023