La máquina de recubrimiento al vacío en el sistema de bombeo tiene los siguientes requisitos básicos:
(1) El sistema de vacío de recubrimiento debe tener una tasa de bombeo suficientemente grande, que no solo debe bombear rápidamente los gases liberados del sustrato y los materiales evaporados y los componentes en la cámara de vacío durante el proceso de recubrimiento, sino que también debe ser capaz de bombear rápidamente los gases liberados del proceso de pulverización catódica y recubrimiento iónico, así como las fugas de gas del proceso de pulverización catódica y recubrimiento iónico y del sistema.
Las fugas de gas durante el proceso de pulverización catódica y recubrimiento iónico también pueden eliminarse rápidamente. Para mejorar la productividad de la máquina de recubrimiento, esta debe poder operar con rapidez.
(2) El vacío final del sistema de bombeo de la máquina de recubrimiento debe ser diferente según los requisitos de las distintas películas. La tabla 7-9 muestra el rango de grado de vacío requerido para el proceso de recubrimiento de las distintas películas.
(3) En el sistema de bombeo con bomba de difusión de aceite, la tasa de retorno de aceite debe ser lo más baja posible, ya que el vapor de aceite retornado contaminará la superficie de la pieza de trabajo y disminuirá la calidad de la película. En el proceso de recubrimiento, donde los requisitos de calidad de la película son particularmente altos, es preferible utilizar un sistema de bombeo sin aceite. Al utilizar un sistema de bombeo con bomba de difusión de aceite, se deben instalar trampas de adsorción, trampas de frío y otros componentes en la entrada de la bomba, y se debe prestar atención a la conductividad de los componentes para garantizar que el sistema de vacío mantenga la velocidad máxima de bombeo.
(4) La tasa de fuga de la cámara de recubrimiento al vacío y su sistema de bombeo debe ser mínima; es decir, incluso una fuga mínima de gas afectará la calidad de la película. Por lo tanto, para garantizar el sellado del sistema, la tasa de fuga total debe limitarse al rango permitido.
(5) El funcionamiento, uso y mantenimiento del sistema de vacío debe ser conveniente, estable y de rendimiento fiable.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 14 de diciembre de 2023