Ihe Igwe Mkpuchi Uzuzu Dị Mkpa Maka Sistemụ Mgbapụta

Igwe mkpuchi uzuoku na sistemụ mgbapụta nwere ihe ndị a dị mkpa:

(1) Sistemụ oghere mkpuchi kwesịrị inwe oke ọsọ mgbapụta zuru oke, nke ekwesịghị naanị ịgbapụta gas ndị a tọhapụrụ site na substrate na ihe ndị a gbapụrụ agbapụ na ihe ndị dị na oghere oghere n'oge usoro mkpuchi ahụ, kamakwa inwe ike ịgbapụta gas ndị a tọhapụrụ site na usoro mkpuchi sputtering na ion, yana ntapu gas nke usoro mkpuchi sputtering na ion na sistemụ ahụ.

Enwere ike iwepụ mmiri gas n'oge a na-agbapụta na usoro mkpuchi ion ngwa ngwa. Iji melite mmepụta nke igwe mkpuchi ahụ, ọ kwesịrị inwe ike ịrụ ọrụ ngwa ngwa.

(2) Oghere kachasị elu nke sistemụ mgbapụta igwe mkpuchi kwesịrị ịdị iche dịka ihe fim dị iche iche chọrọ si dị. Tebụl 7-9 bụ oke ogo oghere nke usoro mkpuchi nke fim dị iche iche chọrọ.

(3) N'ime mgbapụta mmanụ dịka sistemụ mgbapụta mmiri isi chọrọ, ọnụego mgbapụta mmanụ dị obere dịka o kwere mee, n'ihi na uzuoku mmanụ nloghachi ga-emerụ elu nke ihe eji arụ ọrụ ahụ ma mee ka ịdị mma nke ihe nkiri ahụ daa. N'ime usoro mkpuchi ihe nkiri ahụ dị oke elu, ọ kacha mma iji sistemụ mgbapụta mmiri na-enweghị mmanụ. Mgbe ị na-eji sistemụ mgbapụta mmiri mmanụ, a ga-etinye ya na ọnyà nnabata mmiri, ọnyà oyi na ihe ndị ọzọ, ma lekwasị anya na njikwa nke ihe ndị ahụ iji hụ na sistemụ vacuum ahụ na-enwe ọsọ mgbapụta kachasị.

(4) Ọkwa ntapu nke ụlọ mkpuchi ihe mkpofu na sistemụ mgbapụta ya kwesịrị ịdị obere, ya bụ, ọ bụrụgodị na ọ bụ ntapu gas, ọ ga-emetụta ịdị mma nke ihe nkiri ahụ. Ya mere, iji hụ na arụmọrụ nke sistemụ ahụ na-arụ ọrụ, a ga-ejedebe oke ntapu nke sistemụ ahụ na oke a na-ekwe ka ọ dị.

(5) Ọrụ, ojiji na mmezi sistemụ vacuum kwesịrị ịdị mma, kwụsiri ike ma bụrụ nke a pụrụ ịtụkwasị obi.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua