تتطلب آلة الطلاء الفراغي على نظام الضخ المتطلبات الأساسية التالية:
(1) يجب أن يتمتع نظام الفراغ الخاص بالطلاء بمعدل ضخ كبير بما فيه الكفاية، والذي يجب ألا يقتصر فقط على ضخ الغازات المنبعثة بسرعة من الركيزة والمواد المتبخرة والمكونات الموجودة في حجرة الفراغ أثناء عملية الطلاء، ولكن يجب أن يكون قادرًا أيضًا على ضخ الغازات المنبعثة بسرعة من عملية التذرية والطلاء الأيوني، بالإضافة إلى تسرب الغاز من عملية التذرية والطلاء الأيوني والنظام.
يمكن أيضًا استخلاص تسرب الغاز أثناء عملية الترسيب بالرش والطلاء الأيوني بسرعة. ولتحسين إنتاجية آلة الطلاء، يجب أن تكون قادرة على العمل بسرعة.
(2) يجب أن يختلف مستوى الفراغ النهائي لنظام ضخ آلة الطلاء تبعًا لمتطلبات أنواع الأغشية المختلفة. يوضح الجدول 7-9 نطاق درجة الفراغ المطلوبة لعملية طلاء أنواع الأغشية المختلفة.
(3) في نظام الضخ الرئيسي باستخدام مضخة انتشار الزيت، يجب أن يكون معدل عودة الزيت من المضخة في أدنى حد ممكن، لأن بخار الزيت العائد يُلوث سطح قطعة العمل ويؤدي إلى انخفاض جودة طبقة الطلاء. في عمليات الطلاء التي تتطلب جودة عالية، يُفضل استخدام نظام ضخ خالٍ من الزيت. عند استخدام نظام ضخ مضخة انتشار الزيت، يجب تركيب مصيدة امتصاص ومصيدة تبريد ومكونات أخرى في مدخل المضخة، مع مراعاة موصلية هذه المكونات لضمان الحفاظ على أقصى سرعة ضخ لنظام التفريغ.
(4) يجب أن يكون معدل تسرب الغاز من حجرة الطلاء الفراغي ونظام الضخ الخاص بها منخفضًا، أي أنه حتى لو كان تسربًا ضئيلاً جدًا، فإنه سيؤثر على جودة الفيلم. لذلك، ولضمان أداء إحكام النظام، يجب أن يقتصر معدل التسرب الكلي للنظام على النطاق المسموح به.
(5) يجب أن يكون تشغيل نظام الفراغ واستخدامه وصيانته مريحًا ومستقرًا وموثوقًا.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 14 ديسمبر 2023

