Nā Koi o ka Mīkini Uhi Vacuum o ka ʻŌnaehana Pumping

ʻO nā koi kumu o ka mīkini uhi ʻūlū ma ka ʻōnaehana pumping penei:

(1) Pono ka ʻōnaehana hakahaka uhi i kahi wikiwiki o ka pumping, ʻaʻole pono e hoʻopuka koke i nā kinoea i hoʻokuʻu ʻia mai ka substrate a me nā mea i hoʻoheheʻe ʻia a me nā ʻāpana i loko o ke keʻena hakahaka i ka wā o ke kaʻina hana uhi, akā hiki nō hoʻi ke hoʻopuka koke i nā kinoea i hoʻokuʻu ʻia mai ke kaʻina hana sputtering a me ka ion coating, a me ka leakage kinoea o ke kaʻina hana sputtering a me ka ion coating a me ka ʻōnaehana.

Hiki ke hoʻokaʻawale koke ʻia ka leaka kinoea i ka wā o ka sputtering a me ke kaʻina hana uhi ion. I mea e hoʻomaikaʻi ai i ka huahua o ka mīkini uhi, pono e hiki ke hana koke.

(2) Pono e ʻokoʻa ka vacuum hope loa o ka ʻōnaehana pamu mīkini uhi e like me nā koi o nā kiʻiʻoniʻoni like ʻole. ʻO ka Papa 7-9 ka laulā o ke kekelē vacuum i koi ʻia e ke kaʻina hana uhi o nā kiʻiʻoniʻoni like ʻole.

(3) I loko o ka pamu hoʻolaha aila ma ke ʻano he ʻōnaehana pamu nui, pono ka wikiwiki o ka hoʻihoʻi ʻana o ka aila o ka pamu e like me ka liʻiliʻi e like me ka hiki, no ka mea, e hoʻohaumia ka mahu aila hoʻi i ka ʻili o ka workpiece a e hōʻemi i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni. I ke kaʻina hana uhi ʻana, ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana pamu ʻaila ʻole. I ka wā e hoʻohana ai i ka ʻōnaehana pamu pamu pamu hoʻolaha aila, pono e hoʻokomo i ka pahele adsorption inlet pump, ka pahele anu a me nā ʻāpana ʻē aʻe, a pono e hoʻolohe i ka conductivity o nā ʻāpana e hōʻoia i ka mālama ʻana o ka ʻōnaehana vacuum i ka wikiwiki o ka pamu.

(4) Pono ka liʻiliʻi o ka leakage o ke keʻena uhi hakahaka a me kāna ʻōnaehana pamu, ʻo ia hoʻi, inā he trace gas leakage ia, e hoʻopilikia ia i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni. No laila, i mea e hōʻoia ai i ka hana sila o ka ʻōnaehana, pono e kaupalena ʻia ka nui o ka leakage o ka ʻōnaehana i ka laulā i ʻae ʻia.

(5) Pono ka hana, ka hoʻohana a me ka mālama ʻana o ka ʻōnaehana vacuum i ka hana maʻalahi, paʻa a hilinaʻi hoʻi.

–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua