Een vacuümcoatingmachine met pompsysteem moet aan de volgende basisvereisten voldoen:
(1) Het vacuümsysteem voor de coating moet een voldoende grote pompcapaciteit hebben, zodat niet alleen de gassen die vrijkomen uit het substraat en de verdampte materialen en de componenten in de vacuümkamer tijdens het coatingproces snel kunnen worden weggepompt, maar ook de gassen die vrijkomen tijdens het sputter- en ionencoatingproces, evenals de gaslekkage van het sputter- en ionencoatingproces en het systeem, snel kunnen worden weggepompt.
Gaslekkage tijdens het sputter- en ionencoatingproces kan ook snel worden afgezogen. Om de productiviteit van de coatingmachine te verbeteren, moet deze snel kunnen werken.
(2) Het uiteindelijke vacuüm van het pompsysteem van de coatingmachine moet verschillen afhankelijk van de eisen van de verschillende films. Tabel 7-9 toont het bereik van de vacuümgraad die vereist is voor het coatingproces van verschillende films.
(3) Bij een oliediffusiepomp als hoofdpompsysteem is het noodzakelijk dat de olieretourstroom van de pomp zo klein mogelijk is, omdat de terugstromende oliedamp het oppervlak van het werkstuk vervuilt en de kwaliteit van de film aantast. Wanneer er in het coatingproces bijzonder hoge eisen aan de filmkwaliteit worden gesteld, is het raadzaam een olievrij pompsysteem te gebruiken. Bij gebruik van een oliediffusiepompsysteem moeten adsorptievallen, koudevallen en andere componenten in de pompinlaat worden geplaatst, waarbij aandacht moet worden besteed aan de geleidbaarheid van de componenten om ervoor te zorgen dat het vacuümsysteem de maximale pompsnelheid kan handhaven.
(4) De lekkagesnelheid van de vacuümcoatingkamer en het bijbehorende pompsysteem moet klein zijn, dat wil zeggen dat zelfs een kleine gaslekkage de kwaliteit van de film beïnvloedt. Om de afdichtingsprestaties van het systeem te garanderen, moet de totale lekkagesnelheid van het systeem daarom binnen de toelaatbare grenzen blijven.
(5) De werking, het gebruik en het onderhoud van het vacuümsysteem moeten gemakkelijk, stabiel en betrouwbaar zijn.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 14 december 2023