Шахуургын систем дээрх вакуум бүрэх машин нь дараах үндсэн шаардлагуудтай байна:
(1) Бүрхүүлийн вакуум систем нь хангалттай өндөр шахах хурдтай байх ёстой бөгөөд энэ нь бүрэх явцад суурь болон ууршсан материалаас ялгарсан хий, вакуум камерт байгаа эд ангиудыг хурдан шахахаас гадна цацах болон ионы бүрэх процессоос ялгарсан хий, мөн цацах болон ионы бүрэх процесс болон системийн хийн алдагдлыг хурдан шахах чадвартай байх ёстой.
Шүрших болон ионы бүрэх процессын үед хийн алдагдлыг хурдан гаргаж авах боломжтой. Бүрэх машины бүтээмжийг сайжруулахын тулд хурдан ажиллах боломжтой байх ёстой.
(2) Бүрхүүл машины шахах системийн эцсийн вакуум нь өөр өөр хальсны шаардлагын дагуу өөр өөр байх ёстой. Хүснэгт 7-9 нь өөр өөр хальсны бүрэх процесст шаардлагатай вакуум зэргийн хүрээг харуулав.
(3) Тосны диффузийн насос нь гол шахуургын системд шаардлагатай үед шахуургын тосны буцах хурд аль болох бага байх ёстой, учир нь буцах тосны уур нь ажлын хэсгийн гадаргууг бохирдуулж, хальсны чанарыг бууруулдаг. Киноны чанарын шаардлага нь бүрэх процесст онцгой өндөр байдаг тул тосгүй шахуургын системийг ашиглах нь хамгийн сайн арга юм. Тосны диффузийн насосны шахуургын системийг ашиглахдаа насосны оролтын хэсэгт адсорбцийн хавх, хүйтэн хавх болон бусад эд ангиудыг суурилуулж, вакуум систем нь хамгийн их шахах хурдыг хадгалахын тулд эд ангиудын дамжуулах чадварыг анхаарч үзэх хэрэгтэй.
(4) Вакуум бүрхүүлийн камер болон түүний шахах системийн нэвчилтийн хэмжээ бага байх ёстой, өөрөөр хэлбэл энэ нь ул мөр хийн нэвчилт байсан ч хальсны чанарт нөлөөлнө. Тиймээс системийн битүүмжлэлийн гүйцэтгэлийг хангахын тулд системийн нийт нэвчилтийн хэмжээг зөвшөөрөгдөх хязгаарт хязгаарлах ёстой.
(5) Вакуум системийн ажиллагаа, ашиглалт, засвар үйлчилгээ нь тохиромжтой, тогтвортой, найдвартай байх ёстой.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 14