Pompalama sistemine sahip vakumlu kaplama makinesinin temel gereksinimleri şunlardır:
(1) Kaplama vakum sistemi, kaplama işlemi sırasında alt tabakadan ve buharlaşan malzemelerden ve vakum odasındaki bileşenlerden salınan gazları hızla dışarı pompalamakla kalmayıp, aynı zamanda püskürtme ve iyon kaplama işleminden salınan gazları ve püskürtme ve iyon kaplama işleminin ve sistemin gaz sızıntısını da hızla dışarı pompalayabilen yeterince büyük bir pompalama hızına sahip olmalıdır.
Püskürtme ve iyon kaplama işlemi sırasında oluşan gaz kaçağı da hızlı bir şekilde giderilebilir. Kaplama makinesinin verimliliğini artırmak için hızlı çalışabilme özelliğine sahip olması gerekir.
(2) Kaplama makinesi pompalama sisteminin nihai vakumu, farklı filmlerin gereksinimlerine göre farklı olmalıdır. Tablo 7-9, farklı filmlerin kaplama işlemi için gerekli vakum derecesi aralığını göstermektedir.
(3) Ana pompa olarak yağ difüzyon pompasının kullanıldığı pompalama sisteminde, pompanın yağ geri dönüş oranının mümkün olduğunca düşük olması gerekir, çünkü geri dönen yağ buharı iş parçasının yüzeyini kirletecek ve filmin kalitesinin düşmesine neden olacaktır. Kaplama işleminde film kalitesi gereksinimlerinin özellikle yüksek olduğu durumlarda, yağsız pompalama sisteminin kullanılması en iyisidir. Yağ difüzyon pompası pompalama sistemi kullanılırken, pompa girişine adsorpsiyon kapanı, soğuk kapan ve diğer bileşenler yerleştirilmeli ve vakum sisteminin maksimum pompalama hızını koruduğundan emin olmak için bileşenlerin iletkenliğine dikkat edilmelidir.
(4) Vakum kaplama odasının ve pompalama sisteminin sızıntı oranı düşük olmalıdır, yani eser miktarda gaz sızıntısı bile filmin kalitesini etkileyecektir. Bu nedenle, sistemin sızdırmazlık performansını sağlamak için sistemin toplam sızıntı oranı izin verilen aralıkta sınırlandırılmalıdır.
(5) Vakum sisteminin çalışması, kullanımı ve bakımı kolay, istikrarlı ve güvenilir olmalıdır.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 14 Aralık 2023