Сорғы жүйесіндегі вакуумдық жабын машинасына келесі негізгі талаптар қойылады:
(1) Қаптау вакуумдық жүйесінің айдау жылдамдығы жеткілікті жоғары болуы керек, ол тек жабын процесінде субстраттан және буланған материалдардан және вакуумдық камерадағы компоненттерден бөлінетін газдарды тез айдап қана қоймай, сонымен қатар шашырату және иондық жабу процесінен бөлінетін газдарды, сондай-ақ шашырату және иондық жабу процесі мен жүйенің газ ағуын тез айдап шығара алуы керек.
Шашырату және иондық жабу процесі кезіндегі газдың ағуын да тез жоюға болады. Жабу машинасының өнімділігін арттыру үшін ол жылдам жұмыс істей алуы керек.
(2) Қаптау машинасының сорғы жүйесінің шекті вакуумы әр түрлі пленкалардың талаптарына сәйкес әр түрлі болуы керек. 7-9 кестеде әр түрлі пленкаларды жабу процесінде қажет болатын вакуум дәрежесінің диапазоны көрсетілген.
(3) Май диффузиялық сорғысында негізгі сорғы жүйесі ретінде сорғының май қайтару жылдамдығы мүмкіндігінше аз болуы керек, себебі қайтарылатын май буы дайындаманың бетін ластайды және пленка сапасының төмендеуіне әкеледі. Пленка сапасына қойылатын талаптар әсіресе жабу процесінде жоғары болғандықтан, майсыз сорғы жүйесін қолданған дұрыс. Май диффузиялық сорғысының сорғы жүйесін пайдаланған кезде, сорғының кірісіне адсорбциялық тұзақ, суық тұзақ және басқа компоненттерді орнату керек және вакуумдық жүйенің максималды сорғы жылдамдығын сақтауын қамтамасыз ету үшін компоненттердің өткізгіштігіне назар аудару керек.
(4) Вакуумдық жабын камерасының және оның сорғы жүйесінің ағып кету жылдамдығы аз болуы керек, яғни, егер ол іздік газдың ағып кетуі болса да, бұл пленканың сапасына әсер етеді. Сондықтан, жүйенің тығыздау өнімділігін қамтамасыз ету үшін жүйенің жалпы ағып кету жылдамдығы рұқсат етілген диапазонмен шектелуі керек.
(5) Вакуумдық жүйенің жұмысы, пайдаланылуы және техникалық қызмет көрсетуі ыңғайлы, тұрақты және сенімді болуы керек.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 14 желтоқсан