Насостук системадагы вакуумдук каптоочу машина төмөнкү негизги талаптарга ээ:
(1) Каптоо вакуумдук системасы жетиштүү чоң сордуруу ылдамдыгына ээ болушу керек, ал каптоо процессинде субстраттан жана бууланган материалдардан жана вакуумдук камерадагы компоненттерден бөлүнүп чыккан газдарды тез сордуруп гана тим болбостон, чачыратуу жана ион менен каптоо процессинен бөлүнүп чыккан газдарды, ошондой эле чачыратуу жана ион менен каптоо процессинен жана системадан газдын агып чыгышын тез сордуруп чыгара алышы керек.
Чачыратуу жана ион менен каптоо процессиндеги газдын агып чыгышын да тез арада алып салууга болот. Каптоочу машинанын өндүрүмдүүлүгүн жогорулатуу үчүн ал тез иштей алышы керек.
(2) Каптоочу машинанын насостук системасынын акыркы вакууму ар кандай пленкалардын талаптарына жараша ар кандай болушу керек. 7-9-таблицада ар кандай пленкаларды каптоо процесси талап кылган вакуумдук даражанын диапазону көрсөтүлгөн.
(3) Негизги насостук система катары май диффузиялык насосто насостун майдын кайтаруу ылдамдыгы мүмкүн болушунча аз болушу керек, анткени кайтаруу май буусу жумушчу бөлүктүн бетин булгап, пленканын сапатынын төмөндөшүнө алып келет. Пленканын сапатына коюлган талаптар каптоо процессинде өзгөчө жогору болгондуктан, майсыз насостук системаны колдонуу жакшы. Май диффузиялык насостук насостук системаны колдонууда насостун кире беришине адсорбциялык тузак, муздак тузак жана башка компоненттерди орнотуу керек жана вакуум системасынын максималдуу сордуруу ылдамдыгын сактоосун камсыз кылуу үчүн компоненттердин өткөрүмдүүлүгүнө көңүл буруу керек.
(4) Вакуумдук каптоо камерасынын жана анын насостук системасынын агып кетүү ылдамдыгы аз болушу керек, б.а., эгерде ал издик газ агып кетүү болсо да, ал пленканын сапатына таасир этет. Ошондуктан, системанын герметикалык иштешин камсыз кылуу үчүн, системанын жалпы агып кетүү ылдамдыгы жол берилген диапазон менен чектелиши керек.
(5) Вакуум системасынын иштеши, колдонулушу жана техникалык тейлөөсү ыңгайлуу, туруктуу жана ишенимдүү болушу керек.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 14-декабры