Мошини пӯшонидани чангкашак дар системаи насосӣ талаботи асосии зеринро дорад:
(1) Системаи вакуумии пӯшиш бояд суръати баланди насоскунӣ дошта бошад, ки на танҳо бояд газҳои аз субстрат ва маводҳои бухоршуда ва ҷузъҳои камераи вакуумӣ ҷудошударо дар раванди пӯшиш зуд берун кунад, балки инчунин қодир бошад, ки газҳои хориҷшударо аз раванди пошидан ва пӯшиши ионӣ, инчунин ихроҷи газро дар раванди пошидан ва пӯшиши ионӣ ва система зуд берун кунад.
Ихроҷи газ ҳангоми пошидан ва раванди пӯшонидани ионӣ низ метавонад зуд бартараф карда шавад. Барои баланд бардоштани ҳосилнокии дастгоҳи пӯшонидани он, он бояд қобилияти зуд кор карданро дошта бошад.
(2) Вакууми ниҳоии системаи насосии мошини рӯйпӯшкунӣ бояд мувофиқи талаботи плёнкаҳои гуногун фарқ кунад. Ҷадвали 7-9 диапазони дараҷаи вакуумро нишон медиҳад, ки раванди рӯйпӯшкунии плёнкаҳои гуногун онро талаб мекунад.
(3) Дар насоси диффузионии равған ҳамчун системаи асосии насосӣ, суръати бозгашти равғани насос то ҳадди имкон кам аст, зеро буғи равғани бозгашт сатҳи қисмати корро ифлос мекунад ва боиси паст шудани сифати плёнка мегардад. Дар раванди пӯшиш талаботи сифати плёнка махсусан баланд аст, беҳтар аст, ки системаи насосии бе равғанро истифода баред. Ҳангоми истифодаи системаи насосии насоси диффузионии равған, бояд дар даромадгоҳи насос домҳои адсорбсия, домҳои хунук ва дигар ҷузъҳо насб карда шаванд ва ба гузаронандагии ҷузъҳо диққат дода шавад, то системаи вакуумӣ суръати максималии насосро нигоҳ дорад.
(4) Суръати ихроҷи камераи пӯшиши вакуумӣ ва системаи насосии он бояд кам бошад, яъне ҳатто агар ин ихроҷи гази микроскопӣ бошад ҳам, он ба сифати плёнка таъсир мерасонад. Аз ин рӯ, барои таъмини кори мӯҳркунии система, суръати умумии ихроҷи система бояд ба диапазони иҷозатдодашуда маҳдуд карда шавад.
(5) Кор, истифода ва нигоҳдории системаи чангкашак бояд қулай, устувор ва боэътимод бошад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 14 декабри соли 2023