Nasos ulgamyndaky wakuum örtük maşyny aşakdaky esasy talaplara eýedir:
(1) Örtük wakuum ulgamynyň ýeterlik derejede ýokary nasos tizligine eýe bolmaly, ol diňe bir örtük prosesinde substratdan we bugarylan materiallardan we wakuum kamerasyndaky komponentlerden bölünip çykýan gazlary çalt çykaryp bilmeli, eýsem püskürtme we ion örtük prosesinden bölünip çykýan gazlary, şeýle hem püskürtme we ion örtük prosesinden we ulgamdan çykýan gaz syzmagyny çalt çykaryp bilmeli.
Püskürtme we ion örtük prosesinde gaz syzmagy hem çalt aýryp bolýar. Örtük maşynynyň öndürijiligini ýokarlandyrmak üçin ol çalt işläp bilmelidir.
(2) Örtük maşynynyň nasos ulgamynyň iň soňky wakuumy dürli plýonkalaryň talaplaryna görä tapawutlanmaly. 7-9-njy tablisa dürli plýonkalaryň örtmek prosesi tarapyndan talap edilýän wakuum derejesiniň aralygydyr.
(3) Ýag diffuziýa nasosynda esasy nasos nasos ulgamy hökmünde nasosyň ýagyň yzyna gaýtaryş tizliginiň mümkin boldugyça az bolmagyny talap edýär, sebäbi yzyna gaýtaryş ýag bugy iş böleginiň ýüzüni hapalap, plýonkanyň hiliniň peselmegine sebäp bolar. Plýonkanyň hiline bolan talaplar, örtük prosesinde aýratyn ýokary bolansoň, ýagsyz nasos ulgamyny ulanmak iň gowusydyr. Ýag diffuziýa nasos nasos ulgamyny ulananda, nasosyň girişinde adsorbsiýa duzagyny, sowuk duzagy we beýleki bölekleri gurnamaly we wakuum ulgamynyň iň ýokary nasos tizligini saklamagyny üpjün etmek üçin bölekleriň geçirijiligine üns bermelidir.
(4) Wakuum örtük kamerasynyň we onuň nasos ulgamynyň syzma tizligi az bolmaly, ýagny hatda gaz syzmasy bolsa-da, ol plýonkanyň hiline täsir eder. Şonuň üçin, ulgamyň möhürleme işini üpjün etmek üçin ulgamyň umumy syzma tizligi rugsat berilýän çäk bilen çäklendirilmelidir.
(5) Wakuum ulgamynyň işlemegi, ulanylyşy we tehniki hyzmaty amatly, durnukly we ygtybarly bolmaly.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 14-nji dekabry