Nasos sistemindəki vakuum örtük maşını aşağıdakı əsas tələblərə malikdir:
(1) Örtük vakuum sistemi kifayət qədər yüksək nasos sürətinə malik olmalıdır ki, bu da örtük prosesi zamanı substratdan və buxarlanmış materiallardan və vakuum kamerasındakı komponentlərdən ayrılan qazları sürətlə pompalamaqla yanaşı, həm də püskürtmə və ion örtük prosesindən ayrılan qazları, eləcə də püskürtmə və ion örtük prosesindən və sistemdən qaz sızmasını sürətlə pompalamaq imkanına malik olmalıdır.
Püskürtmə və ion örtükləmə prosesi zamanı qaz sızması da tez bir zamanda aradan qaldırıla bilər. Örtükləmə maşınının məhsuldarlığını artırmaq üçün o, tez işləyə bilməlidir.
(2) Örtük maşını nasos sisteminin son vakuumu müxtəlif filmlərin tələblərinə uyğun olaraq fərqli olmalıdır. Cədvəl 7-9 müxtəlif filmlərin örtmə prosesi tərəfindən tələb olunan vakuum dərəcəsi diapazonunu göstərir.
(3) Əsas nasos nasos sistemi kimi yağ diffuziya nasosunda nasosun yağın qaytarılma sürəti mümkün qədər az olmalıdır, çünki qaytarılan yağ buxarı iş parçasının səthini çirkləndirəcək və təbəqənin keyfiyyətinin aşağı düşməsinə səbəb olacaq. Örtük prosesində təbəqənin keyfiyyət tələbləri xüsusilə yüksəkdir, yağsız nasos sistemindən istifadə etmək ən yaxşısıdır. Yağ diffuziya nasos nasos sistemindən istifadə edərkən, nasos girişində adsorbsiya tələsi, soyuq tələ və digər komponentlər quraşdırılmalı və vakuum sisteminin maksimum nasos sürətini qorumasını təmin etmək üçün komponentlərin keçiriciliyinə diqqət yetirilməlidir.
(4) Vakuum örtük kamerasının və onun nasos sisteminin sızma sürəti az olmalıdır, yəni iz qazı sızması olsa belə, bu, filmin keyfiyyətinə təsir edəcək. Buna görə də, sistemin möhürləmə işini təmin etmək üçün sistemin ümumi sızma sürəti icazə verilən diapazonla məhdudlaşdırılmalıdır.
(5) Vakuum sisteminin istismarı, istifadəsi və texniki xidməti rahat, sabit və etibarlı olmalıdır.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yayımlanma vaxtı: 14 Dekabr 2023