1. Utile per lo sputtering e la placcatura di film isolanti. Il rapido cambio di polarità degli elettrodi può essere utilizzato per sputterare direttamente i target isolanti e ottenere film isolanti. Se si utilizza una sorgente di alimentazione a corrente continua per sputtering e deposizione del film isolante, il film isolante impedirà agli ioni positivi di entrare nel catodo, formando uno strato di accumulo di ioni positivi, soggetto a rottura e accensione. Dopo aver depositato un film isolante sull'anodo, gli elettroni vengono bloccati dall'ingresso nell'anodo, con conseguente fenomeno di scomparsa dell'anodo. Quando si utilizza una sorgente di alimentazione a radiofrequenza per rivestire il film isolante, a causa della polarità alternata degli elettrodi, le cariche positive accumulate sul catodo nella prima metà del ciclo verranno neutralizzate dagli elettroni nella seconda metà del ciclo, e gli elettroni accumulati sull'anodo verranno neutralizzati dagli ioni positivi. Il processo opposto nella seconda metà del ciclo può eliminare l'accumulo di cariche sull'elettrodo e il processo di scarica può procedere normalmente.
2. Gli elettrodi ad alta frequenza generano autopolarizzazione. Nel dispositivo RF con struttura a elettrodi piatti, gli elettrodi ad alta frequenza nel circuito, utilizzando un accoppiamento capacitivo, generano una tensione di autopolarizzazione. L'enorme differenza tra la velocità di migrazione degli elettroni e la velocità di migrazione degli ioni in scarica consente agli elettroni di raggiungere una maggiore velocità di movimento in un dato momento, mentre la minore velocità degli ioni causa l'accumulo. L'elettrodo ad alta frequenza si trova a un potenziale negativo per la maggior parte di ogni ciclo, con conseguente tensione negativa sul terreno, che è il fenomeno di autopolarizzazione dell'elettrodo ad alta frequenza.
L'autopolarizzazione generata dall'elettrodo di scarica RF accelera il bombardamento ionico dell'elettrodo catodico, emettendo continuamente elettroni secondari per mantenere il processo di scarica, e l'autopolarizzazione svolge un ruolo simile alla caduta di tensione del catodo nella scarica a bagliore CC. Sebbene si utilizzi un alimentatore RF, la scarica può essere stabile grazie alla tensione di autopolarizzazione generata dall'elettrodo ad alta frequenza che raggiunge i 500-1000 V.
3. La scarica a radiofrequenza svolge un ruolo importante nella scarica luminescente a pressione atmosferica e nella scarica luminescente a barriera dielettrica introdotte in seguito.
Data di pubblicazione: 21 giugno 2023