1. Beneficioso para a pulverización catódica e o chapado de películas illantes. O cambio rápido na polaridade do eléctrodo pódese usar para pulverizar directamente obxectivos illantes para obter películas illantes. Se se usa unha fonte de alimentación de CC para pulverizar e depositar unha película illante, a película illante bloqueará a entrada de ións positivos no cátodo, formando unha capa de acumulación de ións positivos, que é propensa á avaría e á ignición. Despois de depositar unha película illante no ánodo, impídese a entrada de electróns no ánodo, o que resulta no fenómeno da desaparición do ánodo. Ao usar unha fonte de alimentación de RF para recubrir a película illante, debido á polaridade alterna dos eléctrodos, as cargas positivas acumuladas no cátodo na primeira metade do ciclo serán neutralizadas polos electróns na segunda metade do ciclo, e os electróns acumulados no ánodo serán neutralizados polos ións positivos. O proceso oposto na segunda metade do ciclo pode eliminar a acumulación de cargas no eléctrodo e o proceso de descarga pode continuar normalmente.
2. Os eléctrodos de alta frecuencia xeran autopolarización. No dispositivo de radiofrecuencia cunha estrutura de eléctrodos planos, os eléctrodos de alta frecuencia no circuíto que usan acoplamento capacitivo xeran unha tensión de autopolarización. A enorme diferenza entre a velocidade de migración de electróns e a velocidade de migración de ións na descarga permite que os electróns alcancen unha maior velocidade de movemento nun momento dado, mentres que a velocidade de ións máis lenta provoca a acumulación. O eléctrodo de alta frecuencia ten un potencial negativo durante a maior parte de cada ciclo, o que resulta nunha tensión negativa no terreo, que é o fenómeno de autopolarización do eléctrodo de alta frecuencia.
A autopolarización xerada polo eléctrodo de descarga de RF acelera o bombardeo de ións do eléctrodo do cátodo para emitir continuamente electróns secundarios para manter o proceso de descarga, e a autopolarización xoga un papel similar á caída do cátodo na descarga luminescente de CC. Aínda que se usa unha fonte de alimentación de RF, a descarga pode ser estable debido á tensión de autopolarización xerada polo eléctrodo de alta frecuencia que alcanza os 500-1000 V.
3. A descarga de radiofrecuencia xoga un papel importante na descarga luminescente á presión atmosférica e na descarga luminescente de barreira dieléctrica que se presentan máis tarde.
Data de publicación: 21 de xuño de 2023