Factores que afectan á formación de películas Capítulo 1

(1) Gas de pulverización catódica. O gas de pulverización catódica debe ter as características de alto rendemento de pulverización catódica, inerte ao material obxectivo, barato, fácil de obter e alta pureza, entre outras. En xeral, o argon é o gas de pulverización catódica máis ideal.

(2) Tensión de pulverización catódica e tensión do substrato. Estes dous parámetros teñen un impacto importante nas características da película. A tensión de pulverización catódica non só afecta á velocidade de deposición, senón que tamén afecta seriamente á estrutura da película depositada. O potencial do substrato afecta directamente o fluxo de electróns ou ións da inxección humana. Se o substrato está conectado a terra, é bombardeado por electróns equivalentes; se o substrato está suspendido, está na área de descarga luminosa para obter un potencial lixeiramente negativo en relación coa terra do potencial de suspensión V1, e o potencial do plasma arredor do substrato V2 será maior que o potencial do substrato, o que dará lugar a un certo grao de bombardeo de electróns e ións positivos, o que resultará en cambios no grosor da película, composición e outras características: se o substrato aplica intencionadamente unha tensión de polarización, de xeito que estea de acordo coa polaridade da aceptación eléctrica de electróns ou ións, non só pode purificar o substrato e mellorar a adhesión da película, senón que tamén cambia a estrutura da película. No revestimento de pulverización catódica de radiofrecuencia, a preparación da membrana condutora máis a polarización de CC: a preparación da membrana dieléctrica máis a polarización de sintonización.

(3) Temperatura do substrato. A temperatura do substrato ten un maior impacto na tensión interna da película, debido a que a temperatura afecta directamente á actividade dos átomos depositados no substrato, determinando así a composición da película, a estrutura, o tamaño medio de gran, a orientación cristalina e a súa incompletitude.

–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua