1. Vorteilhaft für das Sputtern und Plattieren von Isolierfolien. Der schnelle Wechsel der Elektrodenpolarität kann zum direkten Sputtern von Isoliertargets genutzt werden, um Isolierfolien zu erhalten. Wird eine Gleichstromquelle zum Sputtern und Abscheiden von Isolierfolien verwendet, blockiert die Isolierfolie den Eintritt positiver Ionen in die Kathode und bildet eine positive Ionenansammlungsschicht, die anfällig für Durchbrüche und Entzündungen ist. Nach dem Abscheiden einer Isolierfolie auf der Anode werden Elektronen am Eintritt in die Anode gehindert, was zum Verschwinden der Anode führt. Bei der Verwendung einer HF-Stromquelle zum Beschichten von Isolierfolien werden aufgrund der wechselnden Polarität der Elektroden die in der ersten Zyklushälfte an der Kathode angesammelten positiven Ladungen in der zweiten Zyklushälfte durch Elektronen neutralisiert, und die an der Anode angesammelten Elektronen werden durch positive Ionen neutralisiert. Der umgekehrte Prozess in der zweiten Zyklushälfte kann die Ladungsansammlung auf der Elektrode beseitigen, und der Entladevorgang kann normal ablaufen.
2. Hochfrequenzelektroden erzeugen eine Eigenvorspannung. In HF-Geräten mit flacher Elektrodenstruktur erzeugen die Hochfrequenzelektroden im Schaltkreis mittels kapazitiver Kopplung eine Eigenvorspannung. Der enorme Unterschied zwischen der Elektronen- und der Ionenwanderungsgeschwindigkeit bei der Entladung ermöglicht Elektronen eine höhere Bewegungsgeschwindigkeit, während die langsamere Ionengeschwindigkeit eine Akkumulation verursacht. Die Hochfrequenzelektrode liegt während des größten Teils jedes Zyklus auf negativem Potenzial, was zu einer negativen Spannung auf der Oberfläche führt. Dies ist das Phänomen der Eigenvorspannung der Hochfrequenzelektrode.
Die von der HF-Entladungselektrode erzeugte Eigenvorspannung beschleunigt den Ionenbeschuss der Kathodenelektrode, wodurch kontinuierlich Sekundärelektronen emittiert werden und der Entladungsprozess aufrechterhalten wird. Die Eigenvorspannung spielt eine ähnliche Rolle wie der Kathodenabfall bei der Gleichstrom-Glimmentladung. Trotz Verwendung einer HF-Stromversorgung kann die Entladung aufgrund der von der Hochfrequenzelektrode erzeugten Eigenvorspannung von 500–1000 V stabil bleiben.
3. Die Hochfrequenzentladung spielt eine wichtige Rolle bei der später eingeführten Glimmentladung bei atmosphärischem Druck und der Glimmentladung mit dielektrischer Barriere.
Veröffentlichungszeit: 21. Juni 2023