Sputtering ti a bo imo

1, Awọn ẹya ara ẹrọ ti sputter ti a bo
Ti a ṣe afiwe pẹlu ibora evaporation igbale igbale, ibora sputtering ni awọn ẹya wọnyi:
(1) Eyikeyi nkan le ti wa ni sputtered, paapa ga yo ojuami, kekere oru titẹ eroja ati agbo. Niwọn igba ti o jẹ ohun ti o lagbara, boya o jẹ irin, semikondokito, insulator, yellow ati mix, ati bẹbẹ lọ, boya o jẹ bulọọki, ohun elo granular le ṣee lo bi ohun elo ibi-afẹde. Niwọn igba ti jijẹ kekere ati ida ba nwaye nigbati awọn ohun elo idabobo ti n tu ati awọn ohun elo bii oxides, wọn le ṣee lo lati mura awọn fiimu tinrin ati awọn fiimu alloy pẹlu awọn paati aṣọ ti o jọra si ti ohun elo ibi-afẹde, ati paapaa awọn fiimu ti o ni agbara pẹlu awọn akopọ ti o nipọn.
(2) Adhesion ti o dara laarin fiimu sputtered ati sobusitireti. Niwọn igba ti agbara ti awọn ọta sputtered jẹ awọn aṣẹ 1-2 ti titobi ti o ga ju ti awọn ọta evaporated, iyipada agbara ti awọn patikulu agbara-giga ti o wa sori sobusitireti n ṣe agbara agbara gbona ti o ga julọ, eyiti o mu ifaramọ ti awọn ọta sputtered si sobusitireti. Apa kan ti awọn ọta ti o ni agbara-giga yoo jẹ itasi si awọn iwọn oriṣiriṣi, ti o ṣẹda ohun ti a pe ni pseudo-diffusion Layer lori sobusitireti nibiti awọn ọta sputtered ati awọn ọta ti ohun elo sobusitireti “miscible” pẹlu ara wọn. Ni afikun, lakoko bombardment ti awọn patikulu sputtering, sobusitireti ti wa ni mimọ nigbagbogbo ati mu ṣiṣẹ ni agbegbe pilasima, eyiti o yọkuro awọn ọta ti o ni itara ti ko dara, sọ di mimọ ati mu dada sobusitireti ṣiṣẹ. Bi abajade, ifaramọ ti ipele fiimu sputtered si sobusitireti ti ni ilọsiwaju pupọ.
(3) Iwọn iwuwo giga ti wiwa sputter, awọn pinholes ti o kere ju, ati mimọ ti o ga julọ ti Layer fiimu nitori ko si ibajẹ crucible, eyiti ko ṣee ṣe ni ifisilẹ eefin igbale lakoko ilana ti a bo sputter.
(4) Iṣakoso ti o dara ati atunṣe ti sisanra fiimu. Niwọn igba ti itusilẹ lọwọlọwọ ati lọwọlọwọ ibi-afẹde le jẹ iṣakoso lọtọ lakoko ti a bo sputter, sisanra fiimu le jẹ iṣakoso nipasẹ ṣiṣakoso lọwọlọwọ ibi-afẹde, nitorinaa, iṣakoso ti sisanra fiimu ati atunṣe ti sisanra fiimu nipasẹ ọpọ sputtering ti ibora sputter jẹ dara, ati fiimu ti sisanra ti a ti pinnu tẹlẹ le jẹ ti a bo ni imunadoko. Ni afikun, ti a bo sputter le gba sisanra fiimu aṣọ kan lori agbegbe nla kan. Bibẹẹkọ, fun imọ-ẹrọ ti a bo sputter gbogbogbo (paapaa sputtering dipole), ohun elo jẹ idiju ati nilo ẹrọ titẹ giga; Iyara iṣelọpọ fiimu ti ifasilẹ sputter jẹ kekere, oṣuwọn ifasilẹ imukuro igbale jẹ 0.1 ~ 5nm / min, lakoko ti oṣuwọn sputtering jẹ 0.01 ~ 0.5nm / min; Iwọn otutu sobusitireti ga ati jẹ ipalara si gaasi aimọ, bbl Sibẹsibẹ, nitori idagbasoke RF sputtering ati imọ-ẹrọ sputtering magnetron, ilọsiwaju nla ni a ti gba ni iyọrisi fifisilẹ sputtering iyara ati idinku iwọn otutu sobusitireti. Pẹlupẹlu, ni awọn ọdun aipẹ, awọn ọna ti a bo sputter tuntun ti wa ni iwadii - ti o da lori sputtering magnetron planar - lati dinku titẹ afẹfẹ sputtering titi ti itọka-odo-puttering nibiti titẹ ti gaasi gbigbemi lakoko sputtering yoo jẹ odo.