1.Beneficial fun sputtering ati plating insulation film. Iyipada iyara ni polarity elekiturodu le ṣee lo lati sputter insulating awọn ibi-afẹde taara lati gba awọn fiimu idabobo. Ti a ba lo orisun agbara DC kan lati sputter ati fiimu idabobo idogo, fiimu idabobo yoo dina awọn ions rere lati wọ inu cathode, ti o ṣẹda Layer ikojọpọ ion rere, eyiti o ni itara si didenukole ati ina. Lẹhin fifi fiimu idabobo sori anode, awọn elekitironi ti wa ni idinamọ lati wọ inu anode, ti o yọrisi iṣẹlẹ ti isonu anode. Nigbati o ba lo orisun agbara RF kan lati wọ fiimu idabobo, nitori ilodipo alternating ti awọn amọna, awọn idiyele rere ti a kojọpọ lori cathode ni idaji akọkọ ti ọmọ naa yoo jẹ didoju nipasẹ awọn elekitironi ni idaji keji ti ọmọ naa, ati pe awọn elekitironi ti a kojọpọ lori anode yoo jẹ didoju nipasẹ awọn ions rere. Ilana idakeji ni idaji keji le ṣe imukuro ikojọpọ awọn idiyele lori elekiturodu, ati ilana idasilẹ le tẹsiwaju deede.
2.High awọn amọna amọna n ṣe aiṣedeede ara ẹni. Ninu ẹrọ RF pẹlu eto elekiturodu alapin, awọn amọna-igbohunsafẹfẹ giga ninu iyika nipa lilo isọdọkan capacitive ṣe ina foliteji abosi ti ara ẹni. Iyatọ nla laarin iyara ijira elekitironi ati iyara ijira ion ni idasilẹ jẹ ki awọn elekitironi ṣaṣeyọri iyara gbigbe nla ni akoko ti a fun, lakoko ti iyara ion ti o lọra fa ikojọpọ. Elekiturodu igbohunsafẹfẹ giga wa ni agbara odi fun pupọ julọ ti iyipo kọọkan, ti o mu abajade foliteji odi lori ilẹ, eyiti o jẹ lasan ti irẹjẹ ara ẹni ti elekiturodu igbohunsafẹfẹ giga-giga.
Iyatọ ti ara ẹni ti ipilẹṣẹ nipasẹ elekiturodu itusilẹ RF ṣe iyara bombu ion ti elekiturodu cathode lati njade nigbagbogbo awọn elekitironi Atẹle lati ṣetọju ilana itusilẹ, ati irẹjẹ ara ẹni ṣe ipa kanna si isubu cathode ni idasilẹ didan DC. Botilẹjẹpe lilo ipese agbara RF, itusilẹ le jẹ iduroṣinṣin nitori foliteji aiṣedeede ti ara ẹni ti ipilẹṣẹ nipasẹ elekiturodu igbohunsafẹfẹ giga ti de 500-1000V.
3. Ifiranṣẹ igbohunsafẹfẹ redio ṣe ipa pataki ninu itujade didan didan oju-aye ati idawọle didan didan dielectric ti a ṣafihan nigbamii.
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-21-2023