(1) gaasi ti njade. Gaasi sputtering yẹ ki o ni awọn abuda ti ikore sputtering giga, inert si ohun elo ibi-afẹde, olowo poku, rọrun lati gba mimọ giga ati awọn abuda miiran. Ni gbogbogbo, argon jẹ gaasi sputtering ti o dara julọ.
(2) Sputtering foliteji ati sobusitireti foliteji. Awọn paramita meji wọnyi ni ipa pataki lori awọn abuda ti fiimu naa, foliteji sputtering ko ni ipa lori oṣuwọn ifisilẹ nikan, ṣugbọn tun ni ipa pataki ni eto ti fiimu ti o gbasilẹ. Agbara sobusitireti kan taara itanna tabi sisan ion ti abẹrẹ eniyan. Ti o ba ti sobusitireti ti wa ni ilẹ, o ti wa ni bombarded nipa deede elekitironi; ti o ba ti daduro sobusitireti, o wa ni agbegbe itusilẹ didan lati gba agbara odi die-die ni ibatan si ilẹ ti agbara idadoro V1, ati agbara pilasima ni ayika sobusitireti V2 lati ga ju agbara sobusitireti lọ, eyiti yoo funni ni iwọn kan ti bombardment ti awọn elekitironi ati awọn ions rere, Abajade ni awọn ayipada ninu sisanra fiimu, akopọ, ati awọn abuda miiran: ti o ba jẹ pe o jẹ biasiti ti folti ni ibamu pẹlu idi eletiriki ti itanna. gbigba ti awọn elekitironi tabi awọn ions, kii ṣe nikan le sọ sobusitireti di mimọ ati mu ifaramọ fiimu naa pọ si, ṣugbọn tun yi eto ti fiimu naa pada. Ninu ibora sputtering igbohunsafẹfẹ redio, igbaradi ti awo olutọpa pẹlu irẹjẹ DC: igbaradi ti awọ ara dielectric pẹlu irẹjẹ tuning.
(3) Sobusitireti otutu. Iwọn otutu sobusitireti ni ipa ti o tobi ju lori aapọn inu ti fiimu naa, eyiti o jẹ nitori iwọn otutu taara ni ipa lori iṣẹ ṣiṣe ti awọn ọta ti a fi silẹ lori sobusitireti, nitorinaa ipinnu akopọ ti fiimu naa, eto, iwọn ọkà apapọ, iṣalaye gara ati aipe.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-05-2024