ספּאַטערינג קאָוטינג טעכנאָלאָגיע

1, פֿעיִקייטן פֿון שפּוטערן קאָוטינג
קאַמפּערד מיט קאַנווענשאַנאַל וואַקוום יוואַמפּשאַן קאָוטינג, ספּאַטערינג קאָוטינג האט די פאלגענדע פֿעיִקייטן:
(1) יעדע סובסטאנץ קען ווערן געשפריצט, ספעציעל עלעמענטן און קאמפאונדס מיט א הויכן שמעלץ-פונקט, נידעריגן פארע-דרוק. אזוי לאנג ווי עס איז א הארטער מאטעריאל, צי עס איז א מעטאל, האלב-קאנדוקטאר, איזאלאטאר, קאמפאונד און געמיש, א.א.וו., צי עס איז א בלאק, קען מען ניצן גראנולארן מאטעריאל אלס א ציל-מאטעריאל. ווייל ווען מען שפריצט ​​איזאלירנדיקע מאטעריאלן און צומישן ווי אקסיידן, קען מען זיי ניצן צו צוגרייטן דינע פילמען און צומיש-פילמען מיט גלייכפארמיגע קאמפאנענטן ענלעך צו די פון דעם ציל-מאטעריאל, און אפילו סופערקאנדוקטינג פילמען מיט קאמפליצירטע קאמפאזיציעס. אין דערצו, קען מען אויך ניצן די רעאקטיווע שפריצער-מעטאד צו פראדוצירן פילמען פון קאמפאונדס וואס זענען אינגאנצן אנדערש פון דעם ציל-מאטעריאל, ווי אקסיידן, ניטרידן, קארבידן און סיליצידן.
(2) גוטע אדכעזיע צווישן דעם געשפריצטן פילם און דעם סאַבסטראַט. ווייל די ענערגיע פון ​​די געשפריצטן אטאמען איז 1-2 אָרדערס פון מאַגניטוד העכער ווי די פון פארדאַמפּטע אטאמען, די ענערגיע קאָנווערסיע פון ​​הויך-ענערגיע פּאַרטיקלען וואָס זענען דעפּאַזירט אויף דעם סאַבסטראַט דזשענערירט העכערע טערמישע ענערגיע, וואָס פֿאַרבעסערט די אדכעזיע פון ​​די געשפריצטן אטאמען צו דעם סאַבסטראַט. א טייל פון די הויך-ענערגיע געשפריצטן אטאמען וועלן ווערן אינדזשעקטעד צו פארשידענע גראַדן, פאָרמינג אַן אַזוי גערופענע פּסעוודאָ-דיפיוזשאַן שיכט אויף דעם סאַבסטראַט וואו די געשפריצטן אטאמען און די אטאמען פון דעם סאַבסטראַט מאַטעריאַל "מישן זיך" מיט יעדן אַנדערן. אין דערצו, בעת דעם באָמבאַרדירן פון די געשפריצטן פּאַרטיקלען, ווערט דער סאַבסטראַט שטענדיק ריין און אַקטיוויזירט אין דער פּלאַזמע זאָנע, וואָס נעמט אַוועק די שלעכט אַדכירד פּרעסיפּיטירט אטאמען, רייניקט און אַקטיוויזירט די סאַבסטראַט ייבערפלאַך. ווי אַ רעזולטאַט, ווערט די אדכעזיע פון ​​דער געשפריצטן פילם שיכט צו דעם סאַבסטראַט שטאַרק פֿאַרבעסערט.
(3) הויכע געדיכטקייט פון שפּאַטער קאָוטינג, ווייניקער פּין האָלעס, און העכער ריינקייט פון די פילם שיכט ווייַל עס איז קיין קרוסיבל קאַנטאַמאַניישאַן, וואָס איז אַנאַוווידאַבאַל אין וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן בעשאַס די שפּאַטער קאָוטינג פּראָצעס.
(4) גוטע קאנטראלירבארקייט און איבערחזרנדיקייט פון פילם גרעב. זינט דער אויסלאז-שטראם און ציל-שטראם קענען קאנטראלירט ווערן באזונדער בעת שפריצן-באדעקונג, קען די פילם גרעב קאנטראלירט ווערן דורך קאנטראלירן דעם ציל-שטראם, אזוי, די קאנטראלירבארקייט פון דער פילם גרעב און די איבערחזרנדיקייט פון דער פילם גרעב דורך קייפל שפריצן פון שפריצן-באדעקונג זענען גוט, און דער פילם פון פארגעגעבענער גרעב קען עפעקטיוו באדעקט ווערן. דערצו, קען שפריצן-באדעקונג באקומען א גלייכפארמיגע פילם גרעב איבער א גרויסע שטח. אבער, פאר אלגעמיינע שפריצן-באדעקונג טעכנאלאגיע (הויפּטזעכליך דיפאל שפריצן), איז די עקוויפמענט קאמפליצירט און פארלאנגט א הויך-דרוק אפאראט; די פילם-פארמאציע גיכקייט פון שפריצן-דעפאזיציע איז נידעריג, די וואקיום פארדאמפונג-דעפאזיציע ראטע איז 0.1~5 נ"מ/מינוט, בשעת די שפריצן-ראטע איז 0.01~0.5 נ"מ/מינוט; די סובסטראט טעמפעראטור העכערונג איז הויך און שוואך צו אומריינקייט גאז, א.א.וו. אבער, צוליב דער אנטוויקלונג פון RF שפריצן און מאגנעטראן שפריצן-טעכנאלאגיע, איז גרויסע פארשריט באקומען געווארן אין דערגרייכן שנעלע שפריצן-דעפאזיציע און רעדוצירן די סובסטראט טעמפעראטור. דערצו, אין די לעצטע יארן, ווערן נייע שפּריצן-באַדעקן מעטאָדן אויסגעפאָרשט – באַזירט אויף פּלאַנאַר מאַגנעטראָן שפּריצן – צו מינימיזירן דעם שפּריצן-לופט דרוק ביז נול-דרוק שפּריצן, וואו דער דרוק פון דעם אייננאַם גאַז בעת שפּריצן וועט זיין נול.